Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2007
• Main Authors: Кунченко, Ю.В., Кунченко, В.В., Неклюдов, И.М., Картмазов, Г.Н., Андреев, А.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110739
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, И.М. Неклюдов, Г.Н. Картмазов, А.А. Андреев // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 203-214. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Показана возможность формирования нанослойных TiNx/CrNx-покрытий методом вакуумно-дугового осаждения на плоскость конденсации, которая, вращаясь вокруг оси камеры установки типа «Булат», последовательно пересекает осаждаемые плазменные потоки, генерируемые тремя испарителями. На основе модели расчет...