Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
Исследовано влияние геометрии подложки на особенности процесса конденсации потоков Ti-плазмы вакуумной дуги в присутствии N₂ или Ar в разрядном промежутке. Характер влияния давления и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий обусловлен конкурирующими процессами осаждения и распыления, а та...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| ISSN: | 1562-6016 |
| Автори: | Хороших, В.М., Леонов, С.А., Белоус, В.А. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110740 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 72-76. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Ионно-плазменная пассивация поверхности кристаллов CdZnTe
за авторством: Леонов, С.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Леонов, С.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Ионно-плазменная модификация титановых сплавов
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2018)
Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Элементный состав и толщины покрытий для защиты сплава Zr1Nb от насыщения водородом
за авторством: Толстолуцкая, Г.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Толстолуцкая, Г.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование особенностей нанокристаллического строения сверхтвердых покрытий мононитрида титана
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние потенциала смещения и давления азота на структурно-напряженное состояние и свойства нитридных покрытий, полученных испарением высокоэнтропийных сплавов вакуумно-дуговым методом
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
Трибологическое поведение двухкомпонентных металлических покрытий на основе нитрида титана с различным содержанием олова
за авторством: Газизова, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Газизова, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2018)
Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N
за авторством: Грудницкий, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Грудницкий, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние кислорода на механические свойства циркония
за авторством: Черняева, Т.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Черняева, Т.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Влияние горячей пластической деформации в интервале дорекристаллизационных температур на структуру и твердость гафния ГФЭ-1
за авторством: Ажажа, Р.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ажажа, Р.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние термообработки на прочностные характеристики сплавов Mo-Zr-C
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2014)
Защитные тонкопленочные многослойные экраны от рентгеновского и гамма-излучения
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние импульсов давления на динамику водо-газосолевых зародышей в водных растворах
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2011)
Наноиндентирование поверхностных слоев материалов
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние термоциклов на напряжения и дефектность в системах: вольфрам-силициды, графит-силициды, графит-вольфрам
за авторством: Осипов, А.Д.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Осипов, А.Д.
Опубліковано: (2008)
О механизме нестехиометричности и ее влияние на образование в сапфире микрочастиц второй фазы
за авторством: Катрич, Н.П., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Катрич, Н.П., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние прокатки на устойчивость композиционной микроструктуры сплавов эвтектического типа
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
Влияние термоциклической обработки на микропластическое поведение горячепрессованных сортов бериллия
за авторством: Иванцов, В.И.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Иванцов, В.И.
Опубліковано: (2000)
Влияние термических обработок на процессы механической релаксации в твердых растворах внедрения на основе ниобия
за авторством: Бахрушин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Бахрушин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
Влияние температуры на рост пор в поликристаллических плёнках легкоплавких металлов
за авторством: Дукаров, С.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дукаров, С.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Влияние высокодозовой имплантации ионов металлов и газов на физико-механические свойства титановых сплавов
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние очистки инертной газовой среды на концентрацию Мо и W в алюмоиттриевом гранате
за авторством: Ковтун, Г.П., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Ковтун, Г.П., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние температурного режима и напряженного состояния на переориентацию гидридов в оболочках твэлов из Zr-1%Nb
за авторством: Черняева, Т.П., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Черняева, Т.П., та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние обработки гидростатическим давлением на свойства датчиков ядерного излучения на основе полупроводникового соединения CdZnTe
за авторством: Кутний, В.Е., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Кутний, В.Е., та інші
Опубліковано: (2003)
Влияние технологических параметров производства на структурообразование и свойства прутков из гафния
за авторством: Вахрушева, В.С., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Вахрушева, В.С., та інші
Опубліковано: (2000)
Влияние термоциклической обработки на микропластичность бериллия, полученного из сферического измельченного порошка
за авторством: Иванцов, В.И.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Иванцов, В.И.
Опубліковано: (2003)
Влияние условий получения и добавок рения в слоях фторидных сплавов вольфрам-рений на их механические свойства
за авторством: Осипов, А.Д., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Осипов, А.Д., та інші
Опубліковано: (2008)
Схожі ресурси
-
Ионно-плазменная пассивация поверхности кристаллов CdZnTe
за авторством: Леонов, С.А., та інші
Опубліковано: (2004) -
Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008) -
Ионно-плазменная модификация титановых сплавов
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011) -
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2018) -
Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)