Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
Исследовано влияние геометрии подложки на особенности процесса конденсации потоков Ti-плазмы вакуумной дуги в присутствии N₂ или Ar в разрядном промежутке. Характер влияния давления и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий обусловлен конкурирующими процессами осаждения и распыления, а та...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2008 |
| Hauptverfasser: | Хороших, В.М., Леонов, С.А., Белоус, В.А. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110740 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 72-76. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Ионно-плазменная пассивация поверхности кристаллов CdZnTe
von: Леонов, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Леонов, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Элементный состав и толщины покрытий для защиты сплава Zr1Nb от насыщения водородом
von: Толстолуцкая, Г.Д., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Толстолуцкая, Г.Д., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Исследование особенностей нанокристаллического строения сверхтвердых покрытий мононитрида титана
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние потенциала смещения и давления азота на структурно-напряженное состояние и свойства нитридных покрытий, полученных испарением высокоэнтропийных сплавов вакуумно-дуговым методом
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
von: Коваленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Коваленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Трибологическое поведение двухкомпонентных металлических покрытий на основе нитрида титана с различным содержанием олова
von: Газизова, М.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Газизова, М.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N
von: Грудницкий, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Грудницкий, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
von: Торяник, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Торяник, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние кислорода на механические свойства циркония
von: Черняева, Т.П., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Черняева, Т.П., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Влияние горячей пластической деформации в интервале дорекристаллизационных температур на структуру и твердость гафния ГФЭ-1
von: Ажажа, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Ажажа, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Влияние термообработки на прочностные характеристики сплавов Mo-Zr-C
von: Семененко, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Семененко, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Защитные тонкопленочные многослойные экраны от рентгеновского и гамма-излучения
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Влияние импульсов давления на динамику водо-газосолевых зародышей в водных растворах
von: Юферов, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Юферов, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Влияние термоциклов на напряжения и дефектность в системах: вольфрам-силициды, графит-силициды, графит-вольфрам
von: Осипов, А.Д.
Veröffentlicht: (2008)
von: Осипов, А.Д.
Veröffentlicht: (2008)
Наноиндентирование поверхностных слоев материалов
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние термоциклической обработки на микропластическое поведение горячепрессованных сортов бериллия
von: Иванцов, В.И.
Veröffentlicht: (2000)
von: Иванцов, В.И.
Veröffentlicht: (2000)
Влияние прокатки на устойчивость композиционной микроструктуры сплавов эвтектического типа
von: Семененко, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Семененко, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Влияние высокодозовой имплантации ионов металлов и газов на физико-механические свойства титановых сплавов
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Влияние очистки инертной газовой среды на концентрацию Мо и W в алюмоиттриевом гранате
von: Ковтун, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Ковтун, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Влияние обработки гидростатическим давлением на свойства датчиков ядерного излучения на основе полупроводникового соединения CdZnTe
von: Кутний, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Кутний, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2003)
Влияние условий получения и добавок рения в слоях фторидных сплавов вольфрам-рений на их механические свойства
von: Осипов, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Осипов, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Влияние технологических параметров производства на структурообразование и свойства прутков из гафния
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Влияние термоциклической обработки на микропластичность бериллия, полученного из сферического измельченного порошка
von: Иванцов, В.И.
Veröffentlicht: (2003)
von: Иванцов, В.И.
Veröffentlicht: (2003)
Влияние отжигов на механические свойства твэльных труб из сплава Zr1Nb на основе кальциетермического циркония
von: Петельгузов, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Петельгузов, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Влияние содержания ниобия на структуру, свойства и параметры акустической эмиссии труб из сплавов циркония с ниобием
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Влияние режимов термомеханической обработки на структуру, кристаллографическую текстуру и механические свойства сплава Zr-1%Nb
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние температуры регенерации адсорбентов на значение величины удельной поверхности, определяемой методом БЭТ
von: Григорова, Т.К., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Григорова, Т.К., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Влияние молекул CO, адсорбированных на межфазной поверхности и растворенных в расплаве, на образование микропузырьков и скорость выращивания сапфира
von: Катрич, Н.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Катрич, Н.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние давления и температуры при деформации в условиях всестороннего сжатия на физико- механические свойства титана в области 77…800 К
von: Чиркина, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Чиркина, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Ähnliche Einträge
-
Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008) -
Ионно-плазменная пассивация поверхности кристаллов CdZnTe
von: Леонов, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2004) -
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2018) -
Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011) -
О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)