Зображення обкладинки

Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления

Вычислены режимы напыления бинарных соединений магнетроном и переходы его равновесной зависимости из области неустойчивости к абсолютной устойчивости. Область перехода зависит от скорости откачки камеры магнетрона, соотношения площадей анода и катода [1,2], а также от величины диффузионного перемеши...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2008
Автори:	Евсюков, А.Н., Завьялов, Ю.Г., Стеценко, Б.В., Щуренко, А.И.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики НАН України 2008
Теми:	Физика и технология конструкционных материалов
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110741
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления / А.Н. Евсюков, Ю.Г. Завьялов, Б.В. Стеценко, А.И. Щуренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 68-71. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением
за авторством: Вьюнов, О.И., та інші
Опубліковано: (2014)

Управление импульсным режимом в гальванотехнике
за авторством: Стевич, З., та інші
Опубліковано: (2003)

Оптимальное управление нестационарным режимом каскадного термоэлектрического охладителя
за авторством: Коцур, М.П., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние эффекта "старения" на магнитные и транспортные свойства пленок La₀,₅Sr₀,₅CoO₃₋δ, полученных лазерным напылением
за авторством: Прохоров, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)

Оптическая нелинейность полученного напылением ПВК, допированного фуллеренами С₆₀
за авторством: Барабаш, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Эпитаксиальный рост плёнок тройной системы Сu–In–Se
за авторством: Григоров, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Управление многофазным импульсным преобразователем постоянного напряжения с гранично-разрывным режимом функционирования
за авторством: Гунченко, Ю.А.
Опубліковано: (2007)

Управление многофазным импульсным преобразователем постоянного напряжения с гранично-разрывным режимом функционирования
за авторством: Gunchenko, Yu. A.
Опубліковано: (2007)

Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)

Система автоматической подстройки частоты гетеродина приемника радиолокационной станции с магнетронным передатчиком
за авторством: Мыценко, И.М., та інші
Опубліковано: (2018)

Пайка ZrO2-керамики к ниобию контактно-реактивным способом через никель
за авторством: Дуров, А.В.
Опубліковано: (2008)

Формирование отражающих сходство бинарных векторов с использованием случайных бинарных проекций
за авторством: Рачковский, Д.А.
Опубліковано: (2015)

Управление формированием сварных соединений при ЭШС (Обзор)
за авторством: Протоковилов, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления
за авторством: Белецкая, О.Е., та інші
Опубліковано: (2007)

Управление приводом системы дозирования полимерной композиции для отлива пленок
за авторством: Кулинченко, Г.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Многослойные гетероструктуры на основе поликристаллических пленок соединений А²В⁶
за авторством: Колежук, К.В., та інші
Опубліковано: (2003)

Параметрический синтез цифрового стабилизатора космической ступени ракеты-носителя с жидкостным реактивным двигателем на активном участке траектории полета
за авторством: Александров, Е.Е., та інші
Опубліковано: (2020)

Гендер: проблема бинарных оппозиций у Платона
за авторством: Мищенко, А.В.
Опубліковано: (2009)

Изготовление резистивного электронагревателя способом микроплазменного напыления
за авторством: Борисов, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2013)

Переход к наукоемким технологиям газотермического напыления
за авторством: Харламов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Стволы установок для детонационного напыления покрытий
за авторством: Харламов, Ю.А.
Опубліковано: (2001)

Комбинирование бинарных свойств в виде МКВ-классификатора
за авторством: Мурыгин, К.В.
Опубліковано: (2010)

Оптимальное квантование для повышения качества бинарных классификаторов
за авторством: Паклин, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2013)

Моделирование радиационного воздействия на деформацию бинарных сплавов
за авторством: Харченко, Д.О., та інші
Опубліковано: (2013)

Об односторонних нулях подмножеств полугруппы бинарных отношений
за авторством: Диасамидзе, Я.И.
Опубліковано: (1990)

Мягкая математическая морфология для фильтрации бинарных изображений
за авторством: Инютин, А.В.
Опубліковано: (2013)

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
за авторством: Босый, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Особенности газотермического напыления покрытий порошковыми проволоками (Обзор)
за авторством: Вилаге, Б., та інші
Опубліковано: (2011)

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
за авторством: Bosyi, V. I., та інші
Опубліковано: (2008)

Свойства и структура объемного металлического стекла Zr₄₁,₂₅Ti₁₃,₇₅Ni₁₀Cu₁₂,₅Be₂₂,₅ при растяжении в области переохлажденной жидкости
за авторством: Ховрич, С.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Устройство управления импульсным режимом электролиза при создании контактных площадок
за авторством: Альбота, Л.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Система прийняття рішень у керуванні режимом дуття конвертерної плавки
за авторством: Bogushevskiy, V. S., та інші
Опубліковано: (2013)

Спектры поглощения тонких пленок тройных соединений в системе RbI–PbI₂
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

Солюбилизация н-декана водными растворами бинарных смесей ПАВ
за авторством: Стрельцова, Е.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Классификация бинарных детерминированных статистических экспериментов с настойчивой регрессией
за авторством: Королюк, Д.В.
Опубліковано: (2015)

Адсорбция нз бинарных углеводородных растворов на органофильном монтмориллоните
за авторством: Маркова, С.А., та інші
Опубліковано: (1983)

Рандомизированные проекционные методы формирования бинарных разреженных векторных представлений
за авторством: Рачковский, Д.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Синтез и стабильность Ti-Zr-Ni-квазикристаллов
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)