Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode
The investigations of erosion behavior of vacuum-arc deposited and chemical vapor deposited W-coatings were carried out under steady state plasma impact in magnetron type discharges of cylindrical configuration. For comparison the erosion characteristics were measured for dense bulk tungsten, too. I...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2008 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110776 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode / G.P. Glazunov, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, E.D. Volkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 107-109. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110776 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Glazunov, G.P. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Volkov, E.D. 2017-01-06T12:07:11Z 2017-01-06T12:07:11Z 2008 Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode / G.P. Glazunov, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, E.D. Volkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 107-109. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.Hf, 79.20.R https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110776 The investigations of erosion behavior of vacuum-arc deposited and chemical vapor deposited W-coatings were carried out under steady state plasma impact in magnetron type discharges of cylindrical configuration. For comparison the erosion characteristics were measured for dense bulk tungsten, too. It was shown that erosion rate values both for vacuum-arc deposited and chemical vapor deposited W-coatings are near to that for dense bulk tungsten. The measured erosion rate dependence on atomic number is in good agreement with the data calculated from the equation for mass dependence of physical ion sputtering. Проведені дослідження ерозійної поведінки покриттів вольфраму, осаджених вакуумно-дуговим і газофазним способом, при дії стаціонарної плазми розрядів магнетронного типу циліндрової конфігурації. Для порівняння зміряні також ерозійні характеристики масивного вольфраму. Показано, що величини швидкості ерозії для вакуумно-дугових і газофазних покриттів близькі до таких для щільного масивного вольфраму. Зміряна залежність швидкості ерозії від атомного номера іонів знаходиться в хорошій згоді з розрахунковою по рівнянню для залежності фізичного розпилювання металу від маси іонів. Проведены исследования эрозионного поведения покрытий вольфрама, осажденных вакуумно-дуговым и газофазным способом, при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа цилиндрической конфигурации. Для сравнения измерены также эрозионные характеристики массивного вольфрама. Показано, что величины скорости эрозии для вакуумно-дуговых и газофазных покрытий близки к таковым для плотного массивного вольфрама. Измеренная зависимость скорости эрозии от атомного номера ионов находится в хорошем согласии с расcчитанной по уравнению для зависимости физического распыления металла от массы ионов. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Plasma dynamics and plasma wall interaction Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode Ерозійна поведінка вольфрамових покриттів у розрядах магнетронного типу з гарячим катодом Эрозийное поведение вольфрамовых покрытий в разрядах магнетронного типа с горячим катодом Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode |
| spellingShingle |
Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode Glazunov, G.P. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Volkov, E.D. Plasma dynamics and plasma wall interaction |
| title_short |
Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode |
| title_full |
Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode |
| title_fullStr |
Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode |
| title_full_unstemmed |
Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode |
| title_sort |
erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode |
| author |
Glazunov, G.P. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Volkov, E.D. |
| author_facet |
Glazunov, G.P. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Volkov, E.D. |
| topic |
Plasma dynamics and plasma wall interaction |
| topic_facet |
Plasma dynamics and plasma wall interaction |
| publishDate |
2008 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Ерозійна поведінка вольфрамових покриттів у розрядах магнетронного типу з гарячим катодом Эрозийное поведение вольфрамовых покрытий в разрядах магнетронного типа с горячим катодом |
| description |
The investigations of erosion behavior of vacuum-arc deposited and chemical vapor deposited W-coatings were carried out under steady state plasma impact in magnetron type discharges of cylindrical configuration. For comparison the erosion characteristics were measured for dense bulk tungsten, too. It was shown that erosion rate values both for vacuum-arc deposited and chemical vapor deposited W-coatings are near to that for dense bulk tungsten. The measured erosion rate dependence on atomic number is in good agreement with the data calculated from the equation for mass dependence of physical ion sputtering.
Проведені дослідження ерозійної поведінки покриттів вольфраму, осаджених вакуумно-дуговим і газофазним способом, при дії стаціонарної плазми розрядів магнетронного типу циліндрової конфігурації. Для порівняння зміряні також ерозійні характеристики масивного вольфраму. Показано, що величини швидкості ерозії для вакуумно-дугових і газофазних покриттів близькі до таких для щільного масивного вольфраму. Зміряна залежність швидкості ерозії від атомного номера іонів знаходиться в хорошій згоді з розрахунковою по рівнянню для залежності фізичного розпилювання металу від маси іонів.
Проведены исследования эрозионного поведения покрытий вольфрама, осажденных вакуумно-дуговым и газофазным способом, при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа цилиндрической конфигурации. Для сравнения измерены также эрозионные характеристики массивного вольфрама. Показано, что величины скорости эрозии для вакуумно-дуговых и газофазных покрытий близки к таковым для плотного массивного вольфрама. Измеренная зависимость скорости эрозии от атомного номера ионов находится в хорошем согласии с расcчитанной по уравнению для зависимости физического распыления металла от массы ионов.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110776 |
| citation_txt |
Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode / G.P. Glazunov, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, E.D. Volkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 107-109. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT glazunovgp erosionbehavioroftungstencoatingsinmagnetrontypedischargeswithhotcathode AT bondarenkomn erosionbehavioroftungstencoatingsinmagnetrontypedischargeswithhotcathode AT konotopskiyal erosionbehavioroftungstencoatingsinmagnetrontypedischargeswithhotcathode AT volkoved erosionbehavioroftungstencoatingsinmagnetrontypedischargeswithhotcathode AT glazunovgp erozíinapovedínkavolʹframovihpokrittívurozrâdahmagnetronnogotipuzgarâčimkatodom AT bondarenkomn erozíinapovedínkavolʹframovihpokrittívurozrâdahmagnetronnogotipuzgarâčimkatodom AT konotopskiyal erozíinapovedínkavolʹframovihpokrittívurozrâdahmagnetronnogotipuzgarâčimkatodom AT volkoved erozíinapovedínkavolʹframovihpokrittívurozrâdahmagnetronnogotipuzgarâčimkatodom AT glazunovgp éroziinoepovedenievolʹframovyhpokrytiivrazrâdahmagnetronnogotipasgorâčimkatodom AT bondarenkomn éroziinoepovedenievolʹframovyhpokrytiivrazrâdahmagnetronnogotipasgorâčimkatodom AT konotopskiyal éroziinoepovedenievolʹframovyhpokrytiivrazrâdahmagnetronnogotipasgorâčimkatodom AT volkoved éroziinoepovedenievolʹframovyhpokrytiivrazrâdahmagnetronnogotipasgorâčimkatodom |
| first_indexed |
2025-12-07T20:26:07Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:26:07Z |
| _version_ |
1850882567701528576 |