Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths
In this article it is studied the influence of electron emission on sheath parameters near electrodes in radio-frequency discharges with the magnetic field. We considered the one-dimensional radio-frequency discharge in argon between plane electrodes separated by a gap d at various neutral gas press...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110795 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths / O.Yu. Kravchenko, G.I. Levada, I.S. Marushchak, A.V. Vakulenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 104-106. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862620391967555584 |
|---|---|
| author | Kravchenko, O.Yu. Levada, G.I. Marushchak, I.S. Vakulenko, A.V. |
| author_facet | Kravchenko, O.Yu. Levada, G.I. Marushchak, I.S. Vakulenko, A.V. |
| citation_txt | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths / O.Yu. Kravchenko, G.I. Levada, I.S. Marushchak, A.V. Vakulenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 104-106. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In this article it is studied the influence of electron emission on sheath parameters near electrodes in radio-frequency discharges with the magnetic field. We considered the one-dimensional radio-frequency discharge in argon between plane electrodes separated by a gap d at various neutral gas pressures, electron emission currents and magnetic field values. The computer simulation is carried out using PIC/MCC method. Results calculations show that the increasing electron emission current causes the decreasing of radio-frequency sheath width and the oscillation amplitude of the electron front. It leads to the increasing of the ion current to the electrode and the ionization rate near the electrode. It is studied conditions, when the radio-frequency sheath instability is appeared and the influence of a gas pressure, a magnetic field value on this phenomenon.
Досліджується вплив електронної емісії на параметри приелектродного шару в радіочастотних розрядах з магнітним полем. Розглядається одновимірний радіочастотний розряд в аргоні між плоскими електродами, що розділені проміжком d, при різних тисках нейтрального газу, струмах електронної емісії і значеннях магнітного поля. Комп’ютерне моделювання виконується методом PIC/MCC. Результати обчислень показують, що збільшення струму електронної емісії викликає зменшення ширини радіочастотного приелектродного шару і амплітуди осциляцій електронного фронту. Це призводить до збільшення іонного струму на електрод і швидкості іонізації газу поблизу електроду. Досліджуються умови появи нестійкості радіочастотного приелектродного шару і вплив на це явище тиску газу і магнітного поля.
Исследуется влияние электронной эмиссии на параметры приэлектродного слоя в радиочастотных разрядах с магнитным полем. Рассматривается одномерный радиочастотный разряд в аргоне между плоскими электродами, разделенными промежутком d, при различных давлениях нейтрального газа, токах электронной эмиссии и значениях магнитного поля. Компьютерное моделирование выполняется методом PIC/MCC. Результаты вычислений показывают, что увеличение тока электронной эмиссии вызывает уменьшение ширины радиочастотного приэлектродного слоя и амплитуды осцилляций электронного фронта. Это приводит к увеличению ионного тока на электрод и скорости ионизации газа вблизи электрода. Исследуются условия, когда появляется неустойчивость радиочастотного приэлектродного слоя, и влияние на это явление давления газа и магнитного поля.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:22:05Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110795 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T13:22:05Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Kravchenko, O.Yu. Levada, G.I. Marushchak, I.S. Vakulenko, A.V. 2017-01-06T12:57:48Z 2017-01-06T12:57:48Z 2008 Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths / O.Yu. Kravchenko, G.I. Levada, I.S. Marushchak, A.V. Vakulenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 104-106. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.27.Lw https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110795 In this article it is studied the influence of electron emission on sheath parameters near electrodes in radio-frequency discharges with the magnetic field. We considered the one-dimensional radio-frequency discharge in argon between plane electrodes separated by a gap d at various neutral gas pressures, electron emission currents and magnetic field values. The computer simulation is carried out using PIC/MCC method. Results calculations show that the increasing electron emission current causes the decreasing of radio-frequency sheath width and the oscillation amplitude of the electron front. It leads to the increasing of the ion current to the electrode and the ionization rate near the electrode. It is studied conditions, when the radio-frequency sheath instability is appeared and the influence of a gas pressure, a magnetic field value on this phenomenon. Досліджується вплив електронної емісії на параметри приелектродного шару в радіочастотних розрядах з магнітним полем. Розглядається одновимірний радіочастотний розряд в аргоні між плоскими електродами, що розділені проміжком d, при різних тисках нейтрального газу, струмах електронної емісії і значеннях магнітного поля. Комп’ютерне моделювання виконується методом PIC/MCC. Результати обчислень показують, що збільшення струму електронної емісії викликає зменшення ширини радіочастотного приелектродного шару і амплітуди осциляцій електронного фронту. Це призводить до збільшення іонного струму на електрод і швидкості іонізації газу поблизу електроду. Досліджуються умови появи нестійкості радіочастотного приелектродного шару і вплив на це явище тиску газу і магнітного поля. Исследуется влияние электронной эмиссии на параметры приэлектродного слоя в радиочастотных разрядах с магнитным полем. Рассматривается одномерный радиочастотный разряд в аргоне между плоскими электродами, разделенными промежутком d, при различных давлениях нейтрального газа, токах электронной эмиссии и значениях магнитного поля. Компьютерное моделирование выполняется методом PIC/MCC. Результаты вычислений показывают, что увеличение тока электронной эмиссии вызывает уменьшение ширины радиочастотного приэлектродного слоя и амплитуды осцилляций электронного фронта. Это приводит к увеличению ионного тока на электрод и скорости ионизации газа вблизи электрода. Исследуются условия, когда появляется неустойчивость радиочастотного приэлектродного слоя, и влияние на это явление давления газа и магнитного поля. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Plasma dynamics and plasma wall interaction Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths Вплив електронної емісії на радіочастотні приелектродні шари в плазмі Влияние электроной эмиссии на радиочастотные приэлектродные слои в плазме Article published earlier |
| spellingShingle | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths Kravchenko, O.Yu. Levada, G.I. Marushchak, I.S. Vakulenko, A.V. Plasma dynamics and plasma wall interaction |
| title | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths |
| title_alt | Вплив електронної емісії на радіочастотні приелектродні шари в плазмі Влияние электроной эмиссии на радиочастотные приэлектродные слои в плазме |
| title_full | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths |
| title_fullStr | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths |
| title_full_unstemmed | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths |
| title_short | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths |
| title_sort | effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths |
| topic | Plasma dynamics and plasma wall interaction |
| topic_facet | Plasma dynamics and plasma wall interaction |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110795 |
| work_keys_str_mv | AT kravchenkooyu effectofelectronemissiononradiofrequencyplasmasheaths AT levadagi effectofelectronemissiononradiofrequencyplasmasheaths AT marushchakis effectofelectronemissiononradiofrequencyplasmasheaths AT vakulenkoav effectofelectronemissiononradiofrequencyplasmasheaths AT kravchenkooyu vplivelektronnoíemísíínaradíočastotníprielektrodníšarivplazmí AT levadagi vplivelektronnoíemísíínaradíočastotníprielektrodníšarivplazmí AT marushchakis vplivelektronnoíemísíínaradíočastotníprielektrodníšarivplazmí AT vakulenkoav vplivelektronnoíemísíínaradíočastotníprielektrodníšarivplazmí AT kravchenkooyu vliânieélektronoiémissiinaradiočastotnyepriélektrodnyesloivplazme AT levadagi vliânieélektronoiémissiinaradiočastotnyepriélektrodnyesloivplazme AT marushchakis vliânieélektronoiémissiinaradiočastotnyepriélektrodnyesloivplazme AT vakulenkoav vliânieélektronoiémissiinaradiočastotnyepriélektrodnyesloivplazme |