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Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths

In this article it is studied the influence of electron emission on sheath parameters near electrodes in radio-frequency discharges with the magnetic field. We considered the one-dimensional radio-frequency discharge in argon between plane electrodes separated by a gap d at various neutral gas press...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2008
Hauptverfasser:	Kravchenko, O.Yu., Levada, G.I., Marushchak, I.S., Vakulenko, A.V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Schlagworte:	Plasma dynamics and plasma wall interaction
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110795
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths / O.Yu. Kravchenko, G.I. Levada, I.S. Marushchak, A.V. Vakulenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 104-106. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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