Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths
In this article it is studied the influence of electron emission on sheath parameters near electrodes in radio-frequency discharges with the magnetic field. We considered the one-dimensional radio-frequency discharge in argon between plane electrodes separated by a gap d at various neutral gas press...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110795 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths / O.Yu. Kravchenko, G.I. Levada, I.S. Marushchak, A.V. Vakulenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 104-106. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineБудьте першим, хто залишить коментар!