Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
В модели приповерхностного нелокального термоупругого пика иона получено аналитическое выражение для напряжений сжатия σγ в ta-C-покрытии при осаждении потока низкоэнергетических ионов C+ с энергией 25…1000 эВ. При температуре осаждения T₀ = 300 K напряжения сжатия изменяются с энергией иона в соотв...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | Калиниченко, А.И., Перепёлкин, С.С., Стрельницкий, В.Е. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110857 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 147-151. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2016)
Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Ускорение кинетических процессов в аморфном и нанокристаллическом нитриде бора при ионном облучении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование градиента температуры на фронте кристаллизации монокристаллов Ni-W сплавов
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2008)
Многокомпонентные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия для режущего инструмента
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние температуры подложки на прочностные характеристики покрытий, полученных методом электроискрового легирования
за авторством: Мазанко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Мазанко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)
Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
за авторством: Суджанская, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Суджанская, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние кривизны поверхности подложки на структуру и свойства термобарьерных, конденсационных покрытий
за авторством: Яковчук, К.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Яковчук, К.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)
О формообразовании кратеров при ионной бомбардировке
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Структурная перестройка углеродной мишени в термоупругих пиках ионов ¹²C⁺ и ⁴⁰Ar⁺ низких энергий
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Внутренние резервы для спасения Украины
за авторством: Белопольский, Н.Г.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Белопольский, Н.Г.
Опубліковано: (2014)
Влияние термоциклов на напряжения и дефектность в системах: вольфрам-силициды, графит-силициды, графит-вольфрам
за авторством: Осипов, А.Д.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Осипов, А.Д.
Опубліковано: (2008)
Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2016)
Влияние температуры регенерации адсорбентов на значение величины удельной поверхности, определяемой методом БЭТ
за авторством: Григорова, Т.К., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Григорова, Т.К., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние горячей пластической деформации в интервале дорекристаллизационных температур на структуру и твердость гафния ГФЭ-1
за авторством: Ажажа, Р.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ажажа, Р.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Внутренние коммуникации энергоснабжения цехов металлургических предприятий
за авторством: Вишневский, Б.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Вишневский, Б.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Интенсивные внутренние волны в Черном море
за авторством: Лисиченок, А.Д.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Лисиченок, А.Д.
Опубліковано: (2005)
Моделирование массопереноса при осаждении твердой фракции суспензий
за авторством: Пожидаев, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Пожидаев, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование кинетики потери массы конструкционных материалов в вакууме при воздействии радиации и температуры
за авторством: Похил, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Похил, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
за авторством: Турбин, П.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Турбин, П.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние содержания ниобия на структуру, свойства и параметры акустической эмиссии труб из сплавов циркония с ниобием
за авторством: Вахрушева, В.С., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Вахрушева, В.С., та інші
Опубліковано: (2000)
Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Внутренние волны Кельвина в море под ледяным покровом
за авторством: Музылев, С.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Музылев, С.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние режимов термомеханической обработки на структуру, кристаллографическую текстуру и механические свойства сплава Zr-1%Nb
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники
за авторством: Завьялов, С.В.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Завьялов, С.В.
Опубліковано: (2000)
Внутренние источники финансирования инвестиционной деятельности в Украине
за авторством: Камалов, Ф.И.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Камалов, Ф.И.
Опубліковано: (2005)
Влияние давления и температуры при деформации в условиях всестороннего сжатия на физико- механические свойства титана в области 77…800 К
за авторством: Чиркина, Л.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Чиркина, Л.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Двойникование в фуллеритовых пленках при ионном облучении аргоном
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Поверхностные напряжения в слое. Влияние температуры и примесей на прочность
за авторством: Бурак, Я.И., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Бурак, Я.И., та інші
Опубліковано: (2000)
Схожі ресурси
-
Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009) -
Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2016) -
Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2007) -
Ускорение кинетических процессов в аморфном и нанокристаллическом нитриде бора при ионном облучении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008) -
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)