Buchumschlag

Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении

В модели приповерхностного нелокального термоупругого пика иона получено аналитическое выражение для напряжений сжатия σγ в ta-C-покрытии при осаждении потока низкоэнергетических ионов C+ с энергией 25…1000 эВ. При температуре осаждения T₀ = 300 K напряжения сжатия изменяются с энергией иона в соотв...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2008
Hauptverfasser:	Калиниченко, А.И., Перепёлкин, С.С., Стрельницкий, В.Е.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Schlagworte:	Физика и технология конструкционных материалов
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110857
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 147-151. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
von: Стрельницкий, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Ускорение кинетических процессов в аморфном и нанокристаллическом нитриде бора при ионном облучении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
von: Лучанинов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
von: Пашнев, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Исследование градиента температуры на фронте кристаллизации монокристаллов Ni-W сплавов
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Многокомпонентные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия для режущего инструмента
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние температуры подложки на прочностные характеристики покрытий, полученных методом электроискрового легирования
von: Мазанко, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом
von: Стрельницкий, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
von: Суджанская, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние кривизны поверхности подложки на структуру и свойства термобарьерных, конденсационных покрытий
von: Яковчук, К.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2011)

О формообразовании кратеров при ионной бомбардировке
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структурная перестройка углеродной мишени в термоупругих пиках ионов ¹²C⁺ и ⁴⁰Ar⁺ низких энергий
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Внутренние резервы для спасения Украины
von: Белопольский, Н.Г.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние термоциклов на напряжения и дефектность в системах: вольфрам-силициды, графит-силициды, графит-вольфрам
von: Осипов, А.Д.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние температуры регенерации адсорбентов на значение величины удельной поверхности, определяемой методом БЭТ
von: Григорова, Т.К., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние горячей пластической деформации в интервале дорекристаллизационных температур на структуру и твердость гафния ГФЭ-1
von: Ажажа, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Внутренние коммуникации энергоснабжения цехов металлургических предприятий
von: Вишневский, Б.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Интенсивные внутренние волны в Черном море
von: Лисиченок, А.Д.
Veröffentlicht: (2005)

Моделирование массопереноса при осаждении твердой фракции суспензий
von: Пожидаев, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование кинетики потери массы конструкционных материалов в вакууме при воздействии радиации и температуры
von: Похил, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
von: Турбин, П.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние содержания ниобия на структуру, свойства и параметры акустической эмиссии труб из сплавов циркония с ниобием
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
von: Лучанинов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Внутренние волны Кельвина в море под ледяным покровом
von: Музылев, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние режимов термомеханической обработки на структуру, кристаллографическую текстуру и механические свойства сплава Zr-1%Nb
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники
von: Завьялов, С.В.
Veröffentlicht: (2000)

Внутренние источники финансирования инвестиционной деятельности в Украине
von: Камалов, Ф.И.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние давления и температуры при деформации в условиях всестороннего сжатия на физико- механические свойства титана в области 77…800 К
von: Чиркина, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Двойникование в фуллеритовых пленках при ионном облучении аргоном
von: Бажин, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Поверхностные напряжения в слое. Влияние температуры и примесей на прочность
von: Бурак, Я.И., et al.
Veröffentlicht: (2000)