Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
Рентгенографически исследованы фазовый состав, субструктура и напряженное состояние в покрытиях, полученных на молибденовых подложках в H₂/CH₄-плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем. Установлено, что в процессе осаждения в поверхностном слое подложек формируется карбид Mo₂C с ге...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110858 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде / И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 142-146. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110858 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. 2017-01-06T15:42:15Z 2017-01-06T15:42:15Z 2008 Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде / И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 142-146. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110858 537.534.2:679.826 Рентгенографически исследованы фазовый состав, субструктура и напряженное состояние в покрытиях, полученных на молибденовых подложках в H₂/CH₄-плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем. Установлено, что в процессе осаждения в поверхностном слое подложек формируется карбид Mo₂C с гексагональной структурой, на поверхности которого растет поликристаллическая нетекстурированная алмазная пленка. Показано, что зерна алмаза в пленках характеризуются блочной структурой с размером блоков 60…70 нм, плотностью дислокаций в объеме блоков 10⁸ см⁻² и периодом кристаллической решетки а₀ = 0,3567 нм, характерным для природного алмаза. В пленках выявлены высокие сжимающие напряжения (до –2,8 ГПа), которые частично или полностью уравновешиваются растягивающими напряжениями карбидного слоя. Установлено, что предварительный “засев” подложки частицами алмазной пасты, стимулирующий увеличение плотности образования зародышей алмаза при осаждении, вызывает увеличение в 1,7 раза остаточных напряжений в алмазной пленке. Рентгенографічно досліджені фазовий склад, субструктура і напружений стан у покриттях, отриманих на молібденових підкладках у H₂/CH₄-плазмі тліючого розряду, що стабілізується магнітним полем. Встановлено, що в процесі осадження в поверхневому шарі підкладок формується карбід Mo₂C з гексагональною структурою, на поверхні якого росте полікристалічна нетекстурована алмазна плівка. Показано, що зерна алмазу в плівках характеризуються блочною структурою з розміром блоків 60…70 нм, щільністю дислокацій в об’ємі блоків 10⁸ см⁻² і періодом кристалічної решітки а₀ = 0,3567 нм, що характерний для природного алмазу. У плівках виявлені високі стискаючі напруження (до –2,8 ГПа), які частково або повністю врівноважуються напруженнями розтягування карбідного шару. Встановлено, що попередній “засів” підкладки частками алмазної пасти, який стимулює збільшення густини утворення зародків алмазу при осадженні, викликає збільшення в 1,7 рази залишкових напружень в алмазній плівці. The phase composition, substructure and stress state in diamond coating deposited on Mo substrates in glow discharge stabilized by the magnetic field in H₂/CH₄- mixture have been investigated by the X-ray analysis. It was shown that carbide Mo₂C with hexagonal structure was being formed in the surface layer during process of deposition. Polycrystalline non-textured diamond films growths on the surface of this carbide. It was shown, that diamond grains in coatings are characterised with block structure with size 60…70 nm, dislocation density of 10⁸ см⁻² and lattice spacing а₀ = 0,3567 nm, that it is the same as for natural diamond. In the coatings high compressive stress (up to –2,8 GPa) were found, that compensated by carbide layer tensile stress partly or fully. Preliminary seeding of substrate surface by diamond paste, that stimulated increasing of diamond nucleation, results in increasing of the intrinsic stresses in 1,7 times. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде Рентгенографічне дослідження структури та напруженого стану алмазних покриттів, отриманих у тліючому розряді X-ray analysis of structure and stress state in diamond coating deposited in glow discharge Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде |
| spellingShingle |
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Физика и технология конструкционных материалов |
| title_short |
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде |
| title_full |
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде |
| title_fullStr |
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде |
| title_full_unstemmed |
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде |
| title_sort |
рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде |
| author |
Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| topic |
Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Рентгенографічне дослідження структури та напруженого стану алмазних покриттів, отриманих у тліючому розряді X-ray analysis of structure and stress state in diamond coating deposited in glow discharge |
| description |
Рентгенографически исследованы фазовый состав, субструктура и напряженное состояние в покрытиях, полученных на молибденовых подложках в H₂/CH₄-плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем. Установлено, что в процессе осаждения в поверхностном слое подложек формируется карбид Mo₂C с гексагональной структурой, на поверхности которого растет поликристаллическая нетекстурированная алмазная пленка. Показано, что зерна алмаза в пленках характеризуются блочной структурой с размером блоков 60…70 нм, плотностью дислокаций в объеме блоков 10⁸ см⁻² и периодом кристаллической решетки а₀ = 0,3567 нм, характерным для природного алмаза. В пленках выявлены высокие сжимающие напряжения (до –2,8 ГПа), которые частично или полностью уравновешиваются растягивающими напряжениями карбидного слоя. Установлено, что предварительный “засев” подложки частицами алмазной пасты, стимулирующий увеличение плотности образования зародышей алмаза при осаждении, вызывает увеличение в 1,7 раза остаточных напряжений в алмазной пленке.
Рентгенографічно досліджені фазовий склад, субструктура і напружений стан у покриттях, отриманих на молібденових підкладках у H₂/CH₄-плазмі тліючого розряду, що стабілізується магнітним полем. Встановлено, що в процесі осадження в поверхневому шарі підкладок формується карбід Mo₂C з гексагональною структурою, на поверхні якого росте полікристалічна нетекстурована алмазна плівка. Показано, що зерна алмазу в плівках характеризуються блочною структурою з розміром блоків 60…70 нм, щільністю дислокацій в об’ємі блоків 10⁸ см⁻² і періодом кристалічної решітки а₀ = 0,3567 нм, що характерний для природного алмазу. У плівках виявлені високі стискаючі напруження (до –2,8 ГПа), які частково або повністю врівноважуються напруженнями розтягування карбідного шару. Встановлено, що попередній “засів” підкладки частками алмазної пасти, який стимулює збільшення густини утворення зародків алмазу при осадженні, викликає збільшення в 1,7 рази залишкових напружень в алмазній плівці.
The phase composition, substructure and stress state in diamond coating deposited on Mo substrates in glow discharge stabilized by the magnetic field in H₂/CH₄- mixture have been investigated by the X-ray analysis. It was shown that carbide Mo₂C with hexagonal structure was being formed in the surface layer during process of deposition. Polycrystalline non-textured diamond films growths on the surface of this carbide. It was shown, that diamond grains in coatings are characterised with block structure with size 60…70 nm, dislocation density of 10⁸ см⁻² and lattice spacing а₀ = 0,3567 nm, that it is the same as for natural diamond. In the coatings high compressive stress (up to –2,8 GPa) were found, that compensated by carbide layer tensile stress partly or fully. Preliminary seeding of substrate surface by diamond paste, that stimulated increasing of diamond nucleation, results in increasing of the intrinsic stresses in 1,7 times.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110858 |
| citation_txt |
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде / И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 142-146. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT vyrovecii rentgenografičeskoeissledovaniestrukturyinaprâžennogosostoâniâalmaznyhpokrytiipolučennyhvtleûŝemrazrâde AT gricynavi rentgenografičeskoeissledovaniestrukturyinaprâžennogosostoâniâalmaznyhpokrytiipolučennyhvtleûŝemrazrâde AT dudniksf rentgenografičeskoeissledovaniestrukturyinaprâžennogosostoâniâalmaznyhpokrytiipolučennyhvtleûŝemrazrâde AT opalevoa rentgenografičeskoeissledovaniestrukturyinaprâžennogosostoâniâalmaznyhpokrytiipolučennyhvtleûŝemrazrâde AT rešetnâken rentgenografičeskoeissledovaniestrukturyinaprâžennogosostoâniâalmaznyhpokrytiipolučennyhvtleûŝemrazrâde AT strelʹnickiive rentgenografičeskoeissledovaniestrukturyinaprâžennogosostoâniâalmaznyhpokrytiipolučennyhvtleûŝemrazrâde AT vyrovecii rentgenografíčnedoslídžennâstrukturitanapruženogostanualmaznihpokrittívotrimanihutlíûčomurozrâdí AT gricynavi rentgenografíčnedoslídžennâstrukturitanapruženogostanualmaznihpokrittívotrimanihutlíûčomurozrâdí AT dudniksf rentgenografíčnedoslídžennâstrukturitanapruženogostanualmaznihpokrittívotrimanihutlíûčomurozrâdí AT opalevoa rentgenografíčnedoslídžennâstrukturitanapruženogostanualmaznihpokrittívotrimanihutlíûčomurozrâdí AT rešetnâken rentgenografíčnedoslídžennâstrukturitanapruženogostanualmaznihpokrittívotrimanihutlíûčomurozrâdí AT strelʹnickiive rentgenografíčnedoslídžennâstrukturitanapruženogostanualmaznihpokrittívotrimanihutlíûčomurozrâdí AT vyrovecii xrayanalysisofstructureandstressstateindiamondcoatingdepositedinglowdischarge AT gricynavi xrayanalysisofstructureandstressstateindiamondcoatingdepositedinglowdischarge AT dudniksf xrayanalysisofstructureandstressstateindiamondcoatingdepositedinglowdischarge AT opalevoa xrayanalysisofstructureandstressstateindiamondcoatingdepositedinglowdischarge AT rešetnâken xrayanalysisofstructureandstressstateindiamondcoatingdepositedinglowdischarge AT strelʹnickiive xrayanalysisofstructureandstressstateindiamondcoatingdepositedinglowdischarge |
| first_indexed |
2025-12-07T19:18:49Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:18:49Z |
| _version_ |
1850878333852581888 |