Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Си...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110859 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862589117755293696 |
|---|---|
| author | Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Системный коэффициент эффективности устройства составляет ~ 2,5 %. Показана возможность управления диаграммой распределения плотности выходного ионного тока системы. Неравномерность распределения концентрации компонентов покрытия при использовании катодов из разных металлов (алюминия и титана) – около ± 6,5 %.
Описані будова та принцип дії нового двохкатодного джерела фільтрованої вакуумно-дугової плазми. Наведено результати зондових вимірювань іонної компоненти вихідного плазмового потоку в залежності від величини та геометрії розподілу магнітних полів плазмоведучих каналів. Системний коефіцієнт ефективності пристрою становить ~ 2,5 %. Нерівномірність розподілу концентрації компонентів композиційного покриття, одержуваного при використанні двох різних металів (титану та алюмінію), не перевищує ± 6,5 %.
The device and principle of operation of the new two-cathode filtered vacuum arc plasma source are discussed. Results of probe measurements of ion components of an output plasma stream depending on magnitude and distribution geometry of magnetic fields in plasma guiding channels of the source are presented. The system effectiveness ratio of the device makes ~ 2,5 %. The possibility of control of the ion current density distribution diagram is shown. Inhomogeneity of component concentration distribution of the coating at use of the cathodes from different metals (aluminium and titanium) is about ± 6,5 %.
|
| first_indexed | 2025-11-27T03:06:14Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110859 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T03:06:14Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. 2017-01-06T15:43:15Z 2017-01-06T15:43:15Z 2008 Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110859 621.793 Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Системный коэффициент эффективности устройства составляет ~ 2,5 %. Показана возможность управления диаграммой распределения плотности выходного ионного тока системы. Неравномерность распределения концентрации компонентов покрытия при использовании катодов из разных металлов (алюминия и титана) – около ± 6,5 %. Описані будова та принцип дії нового двохкатодного джерела фільтрованої вакуумно-дугової плазми. Наведено результати зондових вимірювань іонної компоненти вихідного плазмового потоку в залежності від величини та геометрії розподілу магнітних полів плазмоведучих каналів. Системний коефіцієнт ефективності пристрою становить ~ 2,5 %. Нерівномірність розподілу концентрації компонентів композиційного покриття, одержуваного при використанні двох різних металів (титану та алюмінію), не перевищує ± 6,5 %. The device and principle of operation of the new two-cathode filtered vacuum arc plasma source are discussed. Results of probe measurements of ion components of an output plasma stream depending on magnitude and distribution geometry of magnetic fields in plasma guiding channels of the source are presented. The system effectiveness ratio of the device makes ~ 2,5 %. The possibility of control of the ion current density distribution diagram is shown. Inhomogeneity of component concentration distribution of the coating at use of the cathodes from different metals (aluminium and titanium) is about ± 6,5 %. Образцы для рентгенофлюоресцентного анализа изготовлены Ю.А. Бизюковым. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы Двохкатодне джерело фільтрованої вакуумно-дугової плазми Two-cathode filtered vacuum arc plasma source Article published earlier |
| spellingShingle | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_alt | Двохкатодне джерело фільтрованої вакуумно-дугової плазми Two-cathode filtered vacuum arc plasma source |
| title_full | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_fullStr | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_full_unstemmed | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_short | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_sort | двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110859 |
| work_keys_str_mv | AT aksenovii dvuhkatodnyiistočnikfilʹtrovannoivakuumnodugovoiplazmy AT aksenovds dvuhkatodnyiistočnikfilʹtrovannoivakuumnodugovoiplazmy AT vasilʹevvv dvuhkatodnyiistočnikfilʹtrovannoivakuumnodugovoiplazmy AT lučaninovaa dvuhkatodnyiistočnikfilʹtrovannoivakuumnodugovoiplazmy AT rešetnâken dvuhkatodnyiistočnikfilʹtrovannoivakuumnodugovoiplazmy AT strelʹnickiive dvuhkatodnyiistočnikfilʹtrovannoivakuumnodugovoiplazmy AT aksenovii dvohkatodnedžerelofílʹtrovanoívakuumnodugovoíplazmi AT aksenovds dvohkatodnedžerelofílʹtrovanoívakuumnodugovoíplazmi AT vasilʹevvv dvohkatodnedžerelofílʹtrovanoívakuumnodugovoíplazmi AT lučaninovaa dvohkatodnedžerelofílʹtrovanoívakuumnodugovoíplazmi AT rešetnâken dvohkatodnedžerelofílʹtrovanoívakuumnodugovoíplazmi AT strelʹnickiive dvohkatodnedžerelofílʹtrovanoívakuumnodugovoíplazmi AT aksenovii twocathodefilteredvacuumarcplasmasource AT aksenovds twocathodefilteredvacuumarcplasmasource AT vasilʹevvv twocathodefilteredvacuumarcplasmasource AT lučaninovaa twocathodefilteredvacuumarcplasmasource AT rešetnâken twocathodefilteredvacuumarcplasmasource AT strelʹnickiive twocathodefilteredvacuumarcplasmasource |