Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Си...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | Аксенов, И.И., Аксенов, Д.С., Васильев, В.В., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110859 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2009)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2009)
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2010)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2010)
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2017)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2017)
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2009)
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2009)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2009)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2009)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2016)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2016)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2015)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2015)
Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2012)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2012)
Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2016)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2016)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2011)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2011)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2002)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2002)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
by: Лучанинов, А.А., et al.
Published: (2018)
by: Лучанинов, А.А., et al.
Published: (2018)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2016)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2016)
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2016)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2016)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
by: Стрельницкий, В.Е.
Published: (2002)
by: Стрельницкий, В.Е.
Published: (2002)
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2018)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2018)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
by: Аксенов, И.И.
Published: (2001)
by: Аксенов, И.И.
Published: (2001)
Изучение транспортирующих свойств T-образного фильтра при помощи многоканального зонда
by: Аксенов, Д.С., et al.
Published: (2017)
by: Аксенов, Д.С., et al.
Published: (2017)
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2008)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2008)
Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом
by: Стрельницкий, В.Е., et al.
Published: (2005)
by: Стрельницкий, В.Е., et al.
Published: (2005)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
by: Выровец, И.И., et al.
Published: (2008)
by: Выровец, И.И., et al.
Published: (2008)
Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2000)
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2000)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2011)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2011)
Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
by: Грицына, В.И., et al.
Published: (2018)
by: Грицына, В.И., et al.
Published: (2018)
Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
by: Мордик, С.Н., et al.
Published: (2006)
by: Мордик, С.Н., et al.
Published: (2006)
Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок
by: Глушко, П.И., et al.
Published: (2014)
by: Глушко, П.И., et al.
Published: (2014)
Оценки параметров разделяемой плазмы, образованной в разряде с осциллирующими электронами (Пеннинга)
by: Скибенко, Е.И., et al.
Published: (2014)
by: Скибенко, Е.И., et al.
Published: (2014)
Микрокристаллическое покрытие Fe-Ti-C, сформированное вакуумно-дуговым методом осаждения
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2007)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2007)
Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
by: Суджанская, И.В., et al.
Published: (2011)
by: Суджанская, И.В., et al.
Published: (2011)
Тепловые характеристики блока фазовых превращений фор-инжектора металлической плазмы для резонансного сепаратора элементов
by: Ковтун, Ю.В., et al.
Published: (2007)
by: Ковтун, Ю.В., et al.
Published: (2007)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
by: Коваленко, В.И., et al.
Published: (2008)
by: Коваленко, В.И., et al.
Published: (2008)
Многокомпонентные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия для режущего инструмента
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2008)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2008)
Характеристики неравновесной дуговой плазмы в канале сопла плазмотрона
by: Игнатов, А.В., et al.
Published: (2016)
by: Игнатов, А.В., et al.
Published: (2016)
Similar Items
-
Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2009) -
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2010) -
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2017) -
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2009) -
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005)