Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2007
• Main Authors: Точилин, Д.С., Лущин, С.П., Точилин, С.Д.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
• Subjects: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110873
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя / Д.С. Точилин, С.П. Лущин, С.Д. Точилин // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 4. — С. 152-154. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Временное развитие упругого рассеяния света изучалось в процессе формирования геттерирующего слоя на поверхности кремния и германия под действием импульсного лазерного излучения. Установлен линейный характер зависимости между интенсивностью рассеяния света поверхностью исследованных образцов и време...