Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа
Разработана технология получения нераспыляемого геттерного материала и исследованы его свойства. Методом дуговой плавки в среде очищенного аргона изготовлен сплав из компонентов предварительно очищенных металлов Zr, V, Fe и Nb для использования его в качестве нераспыляемого геттера (NEG). Для достиж...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110901 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа / В.М. Ажажа, В.В. Брык, А.В. Гончаров, В.Г. Гревцев, Т.Г. Емлянинова, И.И. Карнаухов, Н.И. Мочешников // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 3. — С. 113-116. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859990005345157120 |
|---|---|
| author | Ажажа, В.М. Брык, В.В. Гончаров, А.В. Гревцев, В.Г. Емлянинова, Т.Г. Карнаухов, И.И. Мочешников, Н.И. |
| author_facet | Ажажа, В.М. Брык, В.В. Гончаров, А.В. Гревцев, В.Г. Емлянинова, Т.Г. Карнаухов, И.И. Мочешников, Н.И. |
| citation_txt | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа / В.М. Ажажа, В.В. Брык, А.В. Гончаров, В.Г. Гревцев, Т.Г. Емлянинова, И.И. Карнаухов, Н.И. Мочешников // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 3. — С. 113-116. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Разработана технология получения нераспыляемого геттерного материала и исследованы его свойства. Методом дуговой плавки в среде очищенного аргона изготовлен сплав из компонентов предварительно очищенных металлов Zr, V, Fe и Nb для использования его в качестве нераспыляемого геттера (NEG). Для достижения однородности химического состава сплав подвергался двойному переплаву. Для нанесения тонкого слоя сплава на подложку использовался вакуумно-плазменный метод формирования покрытий (метод КИБ), разработанный в ННЦ ХФТИ [1]. Исследована структура и микротвердость покрытия, его химический состав методами спектрометрии обратного резерфордовского рассеяния протонов и ионов гелия и спектрометрии рентгеновского характеристического излучения, возбуждаемого протонами[2]. Исследовался сплав, содержащий основные элементы 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe и 1,49 мас. % Nb.
Розроблено технологію здобуття нерозпилюючого гетерного матеріалу та дослідження його властивостей. Методом дугової плавки в середовищі очищеного аргону виготовлено сплав з компонентів попередньо очищених металів Zr, V, Fe і Nb для використання його в якості нерозпилюючого гетера (NEG). Для досягнення однорідності хімічного складу сплав піддавався подвійному переплаву. Для нанесення тонкого шару сплаву на підкладку використовувався вакуумно-плазмений метод формування покрить (метод КІБ), розробленний у ННЦ ХФТІ [1]. Досліджено структуру і мікротвердість покриття, хімічний його склад методами спектрометрії зворотнього резерфордовського розсіювання протонів та іонів гелію і спектрометрії рентгенівського характеристичного випромінювання, порушуваного протонами [2]. Досліджувався сплав, який містить основні елементи 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe та 1,49 мас.%. Nb.
The technology of production not evaporated getter material is developed and its properties are investigated. The method arc meltiness in cleared Ar makes an alloy of components previously of cleared metals Zr, V, Fe and Nb for use it as not evaporated getter (NEG). For achievement of uniformity of chemical structure the alloy was exposed double meltiness. For deposition a thin layer of an alloy on a substrate the vacuum-plasma method of formation of coverings was used, developed in NSC KIPT [1]. The structure and microhardness of a covering is investigated, its chemical structure by methods retherford back scattering protons and ions gelium and specroscopy of x-ray characteristic radiation raised by protons [2]. The alloy containing basic elements (of % of weights) 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe and 1,49 Nb was investigated.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:30:48Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 669.296.5.002.61
ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА НЕРАСПЫЛЯЕМОГО
ГЕТТЕРА НА ОСНОВЕ СПЛАВА ЦИРКОНИЯ, ВАНАДИЯ И ЖЕЛЕЗА
В.М. Ажажа, В.В. Брык, А.В. Гончаров, В.Г. Гревцев, Т.Г. Емлянинова, И.И. Карнау-
хов, Н.И. Мочешников
Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”,
г. Харьков, Украина
Разработана технология получения нераспыляемого геттерного материала и исследованы его свойства. Методом ду-
говой плавки в среде очищенного аргона изготовлен сплав из компонентов предварительно очищенных металлов Zr, V,
Fe и Nb для использования его в качестве нераспыляемого геттера (NEG). Для достижения однородности химического
состава сплав подвергался двойному переплаву. Для нанесения тонкого слоя сплава на подложку использовался вакуум-
но-плазменный метод формирования покрытий (метод КИБ), разработанный в ННЦ ХФТИ [1]. Исследована структура и
микротвердость покрытия, его химический состав методами спектрометрии обратного резерфордовского рассеяния про-
тонов и ионов гелия и спектрометрии рентгеновского характеристического излучения, возбуждаемого протонами[2]. Ис-
следовался сплав, содержащий основные элементы 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe и 1,49 мас. % Nb.
ВВЕДЕНИЕ
Для откачки вакуумных объёмов широко исполь-
зуются два семейства геттеров – распыляемых и не-
распыляемых (NEG). Основными материалами рас-
пыляемых геттеров являются барий и титан, реже
используются Ta, Nb, V, Zr и Mo [3, 4]. Их применя-
ют для поддержания вакуума в откачных объёмах (в
основном, в изделиях электронной промышленно-
сти), а Ti – в сублимационных насосах во многих от-
раслях науки и техники, где необходимо обеспечить
получение и постоянное поддержание вакуума. Так
как необходимо постоянное распыление рабочего
вещества (в данном случае Ti), это ограничивает их
применение в ускорителях заряженных частиц как
основных средств откачки из-за большой протяжен-
ности откачиваемых вакуумных камер с очень огра-
ниченной газовой проводимостью. Поэтому в совре-
менных ускорителях для этих целей широкое рас-
пространение для непрерывной откачки протяжен-
ных вакуумных цепей (в частности, вакуумных ка-
мер циклических ускорителей) получили нераспы-
ляемые геттеры (NEG), состоящие из сплава
нескольких геттероспособных материалов, нанесен-
ных на несущую металлическую подложку [3].
После их активации в вакуумном объёме (для
этого NEG следует нагреть на какое-то время до
определенной температуры) NEG при хорошем ва-
куумном окружении (отсутствие течей, большого
газовыделения и т.п.) способен долгое время сохра-
нять эффективую откачную способность для многих
газов (кроме благородных и углеводородов).
После снижения до определенного уровня скоро-
сти откачки NEG может быть повторно (несколько
раз) реактивирован, но уже при более низкой темпе-
ратуре нагрева. Если температура активации будет
сравнима с температурой прогрева вакуумных ка-
мер, то активация NEG происходит одновременно с
их прогревом.
Отсюда одна из задач разработки новых NEG –
поиск таких сплавов из геттероспособных материа-
лов, которые имели бы минимальную температуру
активации при максимальной скорости откачки.
К настоящему времени разработано несколько
типов NEG. В частности, на e+ e- накопителе LEP в
CERN (длина орбиты в накопителе превышает 20
км) на 90% его длины в качестве основных откачи-
вающих устройств используются NEG типа St101,
разработанные фирмой SAES Getters (Италия) [3, 4-
6], расположение которых в камере накопителя по-
казано на рис.1.
Рис.1. Поперечное сечение вакуумной камеры в
дипольном магните LEP
В состав St101 входят Zr 84%, Al 16%. Толщина
слоя геттера, нанесенного на константан (или сталь),
∼ 0,1 мм. Температура активации ∼ 750°С в течение
30 мин.
Несколько позже в CERN был испытан NEG
St707 (в состав сплава входят Zr, V, Fe) с более низ-
кой температурой активации, ∼ 400°С в течение 1 ч [
7]. Поиски составов NEG с еще более низкой темпе-
ратурой активации продолжаются. В частности, для
большого адронного коллайдера (LHC) ведутся по-
иски NEG непосредственно наносимого на стенки
вакуумной камеры и который активируется при про-
греве этой камеры [8, 9]. Для этого исследуются
откачные свойства многих сплавов (несколько де-
сятков), в частности сплав (мас. %) 53 Ti+27 Zr+20
V.
В связи с существующей в ННЦ ХФТИ програм-
мой разработки источников синхротронного излуче-
__________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2003. № 3. 113
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (83), с. 113-116.
ния (СИ) и гамма-квантов, основанных на накопле-
нии электронов с различными энергиями, а именно:
НР-2000 (до 3 ГэВ), ИСИ-800 (до 1,2 ГэВ), генерато-
ра рентгеновского излучения на основе обратного
рассеяния (Н-100М) и т.д., важную роль приобрета-
ет разработка систем распределенной откачки ваку-
умных камер с малой апертурой (проводимостью).
Учитываем, что газовыделение как за счет термоде-
сорбции, так и синхротронного излучения является
существенным фактором, ограничивающим получе-
ние сверхвысокого вакуума (менее 10-9 торр) только
путём использования сосредоточенных средств
откачки.
РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Для исследований разработаны следующие спла-
вы на основе Zr и Ti c добавками Ni, Fe и V:
cплав №1: 53 Ti+27 Zr+20 V мас. %;
cплав №2: 45 Ti+38 Zr+17 Ni мас. %;
cплав №3: 75 Zr+19,6 V+5,4 Fe мас. %.
В качестве исходных материалов для получения
сплавов NEG использовались высокочистые матери-
алы: Zr-йодидный, V-электролитический, Fe-карбо-
нильный. Из слитков этих сплавов были изготовле-
ны образцы для металлографических исследований.
Образцы подвергались механической шлифовке с
последующей полировкой. После этого образцы
подвергались обработке в травителе HNO3+HF+H2O,
и проводились металлографические исследования
на микроскопе марки ММР-4.
В результате металлографических исследований
была измерена микротвёрдость Hµ и пористость ми-
кротвердометром ПМТ-3 при нагрузке 200 г. Были
получены следующие результаты:
сплав №1: Hµ = 642 кг/мм2;
сплав №2: Hµ= 520 кг/мм2;
сплав №3: Hµ= 602 кг/мм2.
Твёрдость по Бринелю измерялась на приборе
ТШ-2 по методу вдавливания в испытуемое изделие
стального шарика определенного диаметра под дей-
ствием нагрузки в течение определенного времени:
( ) ,2
222 dDDD
PH Б
−−
=
π
где π=3,14; d – диаметр отпечатка металла; D – диа-
метр вдавливаемого шарика; Р – нагрузка.
При нагрузке Р=750кг и d=5мм получены следу-
ющие данные:
сплав №1: HБ = 780 кг/мм2;
сплав №2: HБ = 750 кг/мм2;
сплав №3: HБ = 555 кг/мм2.
Среди полученных NEG-сплавов самой высокой
пористостью обладает сплав №3 (75 Zr+19,6 V+5,4
Fe ат %), поэтому дальнейшие разработки техноло-
гии производства ленты с напыленнным NEG-спла-
вом в первую очередь и были проведены с этим
сплавом.
Из полученного сплава был изготовлен катод для
установки "Булат" [1], в которой вакуумно-плазмен-
ным методом (метод КИБ) было нанесено покрытие
толщиной 10 мкм на подложку из никеля и нержаве-
ющей стали шириной 20, длиной 200 мм и толщи-
ной 100 мкм.
Исследования элементного состава покрытия
проводились:
- методом спектрометрии обратного резерфор-
довского рассеяния протонов и ионов гелия (RBS);
- методом спектрометрии рентгеновского харак-
теристического излучения, возбуждаемого протона-
ми (PIXE).
Исследования проводились на ускорителе ″Со-
кол″ ННЦ ХФТИ [12]. Исследовалось 4 образца по-
крытия сплава №3, осажденного на Ni ленту. Образ-
цы в виде кружков диаметром 20 мм были вырезаны
из ленты на расстояниях 10, 30, 50, 70 мм от центра
ленты.
Характерный спектр PIXE от образца NEG
(сплав №3) приведен на рис.2. В спектре кроме ли-
ний циркония, железа, ванадия наблюдаются линии
ниобия.
0 100 200 300 400 500 600
100
1000
10000
Fe Kβ
Fe Kα
Nb Kβ
Zr Kβ
Nb Kα
Zr Kα
V Kβ
V Kα
Zr Lα
Ч
ис
л
о
сч
ет
ов
Номер канала
Рис.2. Характерный спектр PIXE от образца
покрытия, энергия протонов 1,7МэВ. Расстояние
от центра ленты 10 мм
На рис.3 приведен характерный спектр PIXE от
образца покрытия, взятого на расстоянии 30 мм от
центра ленты.
В спектре кроме линий циркония, железа, вана-
дия и ниобия наблюдаются линии никеля. Толщина
покрытия в точке анализа приближается к величине
глубины анализа методом PIXE.
0 100 200 300 400 500 600
10
100
1000
Nb Kβ
Zr Kβ
Nb Kα
Zr Kα
Ni Kβ
Ni Kα
Fe Kβ
Fe Kα
V Kβ
V Kα
Zr Lα
Ч
ис
л
о
сч
ет
ов
Номер канала
Рис.3. Характерный спектр от образца покры-
тия, энергия протонов 1,7МэВ. Расстояние от цен-
тра ленты 30 мм
114
На рис.4 характерный спектр PIXE от образца
покрытия, взятого на расстоянии 50 мм от центра
ленты.
0 100 200 300 400 500 600
10
100
1000
Zr Kβ
Zr Kα
Fe Kβ
Fe Kα
V Kβ
V Kα
Zr Lα
Номер канала
Ч
ис
ло
с
че
то
в
Рис.4. Характерный спектр PIXE от образца по-
крытия, энергия протонов 1 МэВ. Расстояние от
центра ленты 50 мм
В этом спектре не наблюдаются линии никеля,
так как глубина анализа меньше толщины покрытия.
Состав напылённой пленки NEG №3 исследовал-
ся также методом обратного резерфордовского рас-
сеяния ионов гелия с энергией 1,7 МэВ. Результаты
приведены на рис.5.
Измеренный спектр рассеяных ионов He пред-
ставлен совместно с теоретической кривой, изоб-
ражённой сплошной линией.
500 550 600 650 700 750
0
1000
2000
3000
4000
Zr+Nb
Fe
V
Ч
ис
ло
с
че
то
в
Номер канала
Рис.5. Энергия ионов гелия 1,7МэВ. Точки – экс-
периментальный спектр. Сплошная линия – теоре-
тическая кривая
Результаты исследования химического состава
методами PIXE и RBS приведены в табл.1 и 2.
Таблица 1
Данные PIXE анализа
Образец,
элемент
V,
мас.%
Fe,
мас.%
Zr,
мас.%
Nb,
мас.%
10 мм 22±1,5 5,7±0,3 72±3,5 0,5±0,15
30 мм 21±1,5 5,5±0,3 73±3,5 0,5±0,15
50 мм 19±1,5 4,7±0,3 76±3,5 0,5±0,15
70 мм 20±1,5 5,2±0,3 75±3,5 0,1±0,06
Таблица 2
Данные RBS анализа
Элемент,
образец
V,
мас.%
Fe,
мас.%
Zr,
мас.%
10 мм 25±2 6±1,3 70±2
Результаты RBS и PIXE анализов в пределах
ошибок хорошо согласуются между собой.
Были проведены также исследования покрытия
из сплава NEG №3 на электронном микроскопе JEM
100CX [11]. Измерения осуществлялись при энергии
электронного пучка 100 кэВ. Получены следующие
результаты: размер зерна ∼ 2 мкм, минимальный
размер капель ∼0,1 мкм, максимальный размер
капель ∼6 мкм, структура неоднородна.
С помощью анализатора LINK методом характе-
ристического рентгеновского излучения был изме-
рен химический состав покрытия из NEG №3. Ре-
зультаты приведены в табл. 3.
Полученные данные по химическому составу на
электронном микроскопе хорошо согласуются с
данными, полученными методом PIXE и RBS.
Таблица 3
Данные LINK анализатора
Эле-
мент,
образец
V,
мас.%
Fe,
мас.%
Zr,
мас.%
Nb,
мас.%
5 мм 21,5±2 5,5±0,3 71,5±3 0,3±0,15
10 мм 20,2±2 5,46±0,3 72,5±3 0,3±0,15
20 мм 18,7±2 5,0±0,3 76,4±3 0,45±0,2
25 мм 20,4±2 5,4±0,3 74±3 0,2±0,06
В спектрах RBS протонов с энергией 1,7 МэВ не
наблюдалась П-образная ступенька, характерная для
спектров рассеяния на пленке конечной толщины,
поэтому можно заключить, что толщина покрытия
была больше половины пробега протонов в веще-
стве покрытия, т.е. больше 7 мг/см2 (если предполо-
жить, что плотность вещества равна 5 г/см3, то это
соответствует 14 мкм). Следовательно, толщина по-
крытия ∼ 10 мкм.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Разработаны методика получения сплава гетте-
роспособного материала Zr (75 мас.%), V (19,6
мас.%), Fe (5,4 мас.%) и плазменный метод нанесе-
ния этого сплава на тонкие металлические подложки
(методом КИБ).
Исследованы его элементный состав и основные
свойства. Начаты исследования геттерных свойств
полученного сплава: температура активации, ско-
рость откачки различных газов, предельно достижи-
мый вакуум и т.д.
ЛИТЕРАТУРА
1.В.Г. Падалка, Г.Н. Гутник. Метод КИБ и установ-
ки "Булат" (итоги и перспективы). М.: «ЦНИИато-
минформ», 1986.
2.G.M. Lafferty. Foundation of Vacuum Science and
Technology //Gohn Wiley 8L Sons, Inc, New York,
1998.
3.H.C. Hseuh, C. Lanni. Brookhaven Nathinal Labora-
tory, Upton, New York 11973 //J.Vac.Sci.Technol. A.
1983, v. 1 (2) p. 1283–1287.
115
4.T.A. Giorgi, Ipn I. //Appl. Phys. Suppl. 1974, v. 2, p.
1–53.
5.P. Della Porta, T.A. Giorgi, S. Origlio and F. Ricca
//Trans. of the 8th Nat. Vac. Symp. on Fusion Technolo-
gy ( Pergamon, New Jork, 1962) p. 229.
6.D. Ferrario, A. Barosi, M. Borghi and T.A. Giorgi
//Proc. of the 9th Symp. on Fusion Technology (Perga-
mon, New Jork, 1976) p. 51.
7.C. Benvenuti //Nucl. Instrum. Methods. 1983,
v. 205, p. 391.
8.C. Benvenuti and P. Chiggiato //Vacuum.1993,
v. 44, p. 511.
9.C. Benvenuti, P. Chiggiato, F. Cicoira and Y.
L'Aminot //J.Vac.Sci.Technol. A .1998, v. 16(1),
p. 48.
10.C. Benvenuti, P. Chiggiato, F. Cicoira and
V. Ruzimov //Vacuum. 1998, v. 50(1-2), p. 57.
11.Р.С. Гвоздовер и Л.Ф. Комоловой. Растровая
электронная микроскопия и рентгеновский анализ
/Перевод с английского /Под ред. канд. физ-мат.
наук В.И. Петрова. В 2-х т. М: "Мир", 1984.
12.В.Н. Бондаренко, Л.С. Глазунов, А.В. Гончаров.,
А.В. Заяц, В.Я. Колот, В.В. Кузьменко, В.В.
Левенец, А.П. Омельник, В.М. Пистряк, В.И.
Сухоставец, А.А. Щур. Аналитическая установка
для ядерно-физических методов анализа //Научные
ведомости. Белгородский госуниверситет, серия
«Физика», 2001, №2(15), с. 86–92.
ОДЕРЖАННЯ І ДОСЛІДЖЕННЯ СКЛАДУ НЕРОЗПИЛЮЮЧОГО ГЕТЕРА НА ОСНОВІ СПЛАВУ
ЦИРКОНІЮ, ВАНАДІЮ І ЗАЛІЗА
В.М. Ажажа, В.В. Брик, Н.В. Гончаров, В.Г. Гревцев, Т.Г. Емлянинова, І.І. Карнаухов
Розроблено технологію здобуття нерозпилюючого гетерного матеріалу та дослідження його властивостей. Методом
дугової плавки в середовищі очищеного аргону виготовлено сплав з компонентів попередньо очищених металів Zr, V, Fe
і Nb для використання його в якості нерозпилюючого гетера (NEG). Для досягнення однорідності хімічного складу
сплав піддавався подвійному переплаву. Для нанесення тонкого шару сплаву на підкладку використовувався вакуумно-
плазмений метод формування покрить (метод КІБ), розробленний у ННЦ ХФТІ [1]. Досліджено структуру і
мікротвердість покриття, хімічний його склад методами спектрометрії зворотнього резерфордовського розсіювання
протонів та іонів гелію і спектрометрії рентгенівського характеристичного випромінювання, порушуваного протонами [
2]. Досліджувався сплав, який містить основні елементи 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe та 1,49 мас.%. Nb.
DEVELOPMENT AND RESEARCH OF NOT EVAPORATED GETTER ALLOY BASED
ON Zr, V AND Fe
V.M. Azhaza, V.V.Bryk, N.V.Goncharov, V.G. Grevzev, T.G. Yemlyaninova, I.I. Karnaukhov
The technology of production not evaporated getter material is developed and its properties are investigated. The method arc
meltiness in cleared Ar makes an alloy of components previously of cleared metals Zr, V, Fe and Nb for use it as not evaporated
getter (NEG). For achievement of uniformity of chemical structure the alloy was exposed double meltiness. For deposition a thin
layer of an alloy on a substrate the vacuum-plasma method of formation of coverings was used, developed in NSC KIPT [1].
The structure and microhardness of a covering is investigated, its chemical structure by methods retherford back scattering pro-
tons and ions gelium and specroscopy of x-ray characteristic radiation raised by protons [2]. The alloy containing basic elements
(of % of weights) 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe and 1,49 Nb was investigated.
116
Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”,
г. Харьков, Украина
Введение
Результаты ИССЛЕДОВАНИЙ
Данные PIXE анализа
Таблица 3
Данные LINK анализатора
Заключение
Литература
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110901 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:30:48Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Ажажа, В.М. Брык, В.В. Гончаров, А.В. Гревцев, В.Г. Емлянинова, Т.Г. Карнаухов, И.И. Мочешников, Н.И. 2017-01-06T18:21:32Z 2017-01-06T18:21:32Z 2003 Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа / В.М. Ажажа, В.В. Брык, А.В. Гончаров, В.Г. Гревцев, Т.Г. Емлянинова, И.И. Карнаухов, Н.И. Мочешников // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 3. — С. 113-116. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110901 669.296.5.002.61 Разработана технология получения нераспыляемого геттерного материала и исследованы его свойства. Методом дуговой плавки в среде очищенного аргона изготовлен сплав из компонентов предварительно очищенных металлов Zr, V, Fe и Nb для использования его в качестве нераспыляемого геттера (NEG). Для достижения однородности химического состава сплав подвергался двойному переплаву. Для нанесения тонкого слоя сплава на подложку использовался вакуумно-плазменный метод формирования покрытий (метод КИБ), разработанный в ННЦ ХФТИ [1]. Исследована структура и микротвердость покрытия, его химический состав методами спектрометрии обратного резерфордовского рассеяния протонов и ионов гелия и спектрометрии рентгеновского характеристического излучения, возбуждаемого протонами[2]. Исследовался сплав, содержащий основные элементы 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe и 1,49 мас. % Nb. Розроблено технологію здобуття нерозпилюючого гетерного матеріалу та дослідження його властивостей. Методом дугової плавки в середовищі очищеного аргону виготовлено сплав з компонентів попередньо очищених металів Zr, V, Fe і Nb для використання його в якості нерозпилюючого гетера (NEG). Для досягнення однорідності хімічного складу сплав піддавався подвійному переплаву. Для нанесення тонкого шару сплаву на підкладку використовувався вакуумно-плазмений метод формування покрить (метод КІБ), розробленний у ННЦ ХФТІ [1]. Досліджено структуру і мікротвердість покриття, хімічний його склад методами спектрометрії зворотнього резерфордовського розсіювання протонів та іонів гелію і спектрометрії рентгенівського характеристичного випромінювання, порушуваного протонами [2]. Досліджувався сплав, який містить основні елементи 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe та 1,49 мас.%. Nb. The technology of production not evaporated getter material is developed and its properties are investigated. The method arc meltiness in cleared Ar makes an alloy of components previously of cleared metals Zr, V, Fe and Nb for use it as not evaporated getter (NEG). For achievement of uniformity of chemical structure the alloy was exposed double meltiness. For deposition a thin layer of an alloy on a substrate the vacuum-plasma method of formation of coverings was used, developed in NSC KIPT [1]. The structure and microhardness of a covering is investigated, its chemical structure by methods retherford back scattering protons and ions gelium and specroscopy of x-ray characteristic radiation raised by protons [2]. The alloy containing basic elements (of % of weights) 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe and 1,49 Nb was investigated. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Материалы тепловых реакторов Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа Одержання і дослідження складу нерозпилюючого гетера на основі сплаву цирконію, ванадію і заліза Development and research of not evaporated getter alloy based on Zr, V and Fe Article published earlier |
| spellingShingle | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа Ажажа, В.М. Брык, В.В. Гончаров, А.В. Гревцев, В.Г. Емлянинова, Т.Г. Карнаухов, И.И. Мочешников, Н.И. Материалы тепловых реакторов |
| title | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа |
| title_alt | Одержання і дослідження складу нерозпилюючого гетера на основі сплаву цирконію, ванадію і заліза Development and research of not evaporated getter alloy based on Zr, V and Fe |
| title_full | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа |
| title_fullStr | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа |
| title_full_unstemmed | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа |
| title_short | Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа |
| title_sort | получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа |
| topic | Материалы тепловых реакторов |
| topic_facet | Материалы тепловых реакторов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110901 |
| work_keys_str_mv | AT ažažavm polučenieiissledovaniesostavaneraspylâemogogetteranaosnovesplavacirkoniâvanadiâiželeza AT brykvv polučenieiissledovaniesostavaneraspylâemogogetteranaosnovesplavacirkoniâvanadiâiželeza AT gončarovav polučenieiissledovaniesostavaneraspylâemogogetteranaosnovesplavacirkoniâvanadiâiželeza AT grevcevvg polučenieiissledovaniesostavaneraspylâemogogetteranaosnovesplavacirkoniâvanadiâiželeza AT emlâninovatg polučenieiissledovaniesostavaneraspylâemogogetteranaosnovesplavacirkoniâvanadiâiželeza AT karnauhovii polučenieiissledovaniesostavaneraspylâemogogetteranaosnovesplavacirkoniâvanadiâiželeza AT močešnikovni polučenieiissledovaniesostavaneraspylâemogogetteranaosnovesplavacirkoniâvanadiâiželeza AT ažažavm oderžannâídoslídžennâskladunerozpilûûčogogeteranaosnovísplavucirkoníûvanadíûízalíza AT brykvv oderžannâídoslídžennâskladunerozpilûûčogogeteranaosnovísplavucirkoníûvanadíûízalíza AT gončarovav oderžannâídoslídžennâskladunerozpilûûčogogeteranaosnovísplavucirkoníûvanadíûízalíza AT grevcevvg oderžannâídoslídžennâskladunerozpilûûčogogeteranaosnovísplavucirkoníûvanadíûízalíza AT emlâninovatg oderžannâídoslídžennâskladunerozpilûûčogogeteranaosnovísplavucirkoníûvanadíûízalíza AT karnauhovii oderžannâídoslídžennâskladunerozpilûûčogogeteranaosnovísplavucirkoníûvanadíûízalíza AT močešnikovni oderžannâídoslídžennâskladunerozpilûûčogogeteranaosnovísplavucirkoníûvanadíûízalíza AT ažažavm developmentandresearchofnotevaporatedgetteralloybasedonzrvandfe AT brykvv developmentandresearchofnotevaporatedgetteralloybasedonzrvandfe AT gončarovav developmentandresearchofnotevaporatedgetteralloybasedonzrvandfe AT grevcevvg developmentandresearchofnotevaporatedgetteralloybasedonzrvandfe AT emlâninovatg developmentandresearchofnotevaporatedgetteralloybasedonzrvandfe AT karnauhovii developmentandresearchofnotevaporatedgetteralloybasedonzrvandfe AT močešnikovni developmentandresearchofnotevaporatedgetteralloybasedonzrvandfe |