Зображення обкладинки

Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si

Методом рентгеновской дифрактометрии исследована структура пленок вольфрама и многослойных периодических W/Si-композиций, полученных методом магнетронного распыления. Показано, что химический и фазовый составы вольфрамовых слоев при неизменном давлении распыляющего газа ~0,35 Па определяяются скорос...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2003
Автори:	Решетняк, Е.Н., Малыхин, С.В., Першин, Ю.П., Пугачев, А.Т.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Теми:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110923
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si / Е.Н. Решетняк, С.В. Малыхин, Ю.П. Першин, А.Т. Пугачев // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 3. — С.161-166. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
за авторством: Пеньков, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Структура и прочность композиционной керамики TiB₂–CrB₂ И TiB₂–W₂B₅, полученной методом горячего прессования
за авторством: Гладких, Л.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Blistering of W, Ta and W-Ta coatings under the influence of particles of low-energy hydrogen plazma
за авторством: Tolstolutskaya, G.D., та інші
Опубліковано: (2017)

Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Nanotubular crystals of garnierite Ni₆ (OH)₈[Si₄O₁₀]
за авторством: Smolikov, A., та інші
Опубліковано: (2015)

Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Коммутационный переход с повышенным ресурсом для термоэлектрических генераторов на основе сплава Si₀,₇Ge₀,₃
за авторством: Шерозия, В.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Влияние методов выращивания и легирования на радиационную стойкость n-Si, облучённого быстрыми нейтронами реактора
за авторством: Долголенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2006)

Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Радиационная стойкость n- и p-Si, легированного кислородом и германием, при облучении высокоэнергетическими ядерными частицами
за авторством: Долголенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Анализ прочности элементов пресс-форм из углерод-углеродных материалов для псевдоизостатического прессования
за авторством: Ашихмин, В.П., та інші
Опубліковано: (2007)

Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2013)

Износостойкость и жаростойкость вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN и TiAlN с добавками Si и Y
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование поцессов сварки многослойных структур из кристаллитов различного химическоо состава, получаемых горячей прокаткой в вакууме, для атомной энергетики
за авторством: Борц, Б.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Применение усовершенствованного избирательного гамма-радиометра РК-АГ-О2М на основе сцинтилляционного монокристалла силиката гадолиния для измерения активности америция-241 в чернобыльских пробах различной плотности
за авторством: Рыжиков, В.Д., та інші
Опубліковано: (2003)

О процессах тепло- и массопереноса в конденсированных средах с микроструктурой
за авторством: Камышанченко, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Исследование процесса осаждения нанометрических углеродных образований из газовой фазы на катализаторе - порошке никеля
за авторством: Гурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Механические свойства и структура микроламинатов системы медь-железо
за авторством: Неклюдов, И.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Фазово-структурный состав и свойства покрытия, полученного импульсно-плазменной обработкой с использованием эродирующего катода из стали Р18
за авторством: Чабак, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2016)

Адсорбция паров йода некоторыми адсорбентами
за авторством: Колобродов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2003)

Синтез стронциевого фторапатита на основе пирофосфата кальция
за авторством: Шкуропатенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Свойства углерод-углеродных материалов на основе тканевых наполнителей, легированных кремнием
за авторством: Борковских, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)

О влиянии предварительной ионной бомбабрдировки на структуру переходной зоны покрытия - подложка
за авторством: Вирич, В.Д., та інші
Опубліковано: (2005)

Моделирование энергетических спектров гамма-излучения перспективных радиационно-технологических источников на основе изотопов европия
за авторством: Дюльдя, С. В., та інші
Опубліковано: (2004)

Экстремальные импульсные воздействия энергии на малоактивируемые аустенитные стали
за авторством: Пименов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Optical processes in silicon and microelectronic structures based thereon upon interaction with high-energy radiation
за авторством: Volkov, V.G., та інші
Опубліковано: (2003)

Действующие и разрабатываемые магнито-плазменные сепараторы для разделения вещества на элементы и их изотопы
за авторством: Ковтун, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование предела прочности гранулированных цеолитов в зависимости от режимов термообработкии геометрических параметров
за авторством: Винокуров, Э.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)