Buchumschlag

Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si

Методом рентгеновской дифрактометрии исследована структура пленок вольфрама и многослойных периодических W/Si-композиций, полученных методом магнетронного распыления. Показано, что химический и фазовый составы вольфрамовых слоев при неизменном давлении распыляющего газа ~0,35 Па определяяются скорос...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Решетняк, Е.Н., Малыхин, С.В., Першин, Ю.П., Пугачев, А.Т.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Schlagworte:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110923
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si / Е.Н. Решетняк, С.В. Малыхин, Ю.П. Першин, А.Т. Пугачев // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 3. — С.161-166. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
von: Пеньков, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Blistering of W, Ta and W-Ta coatings under the influence of particles of low-energy hydrogen plazma
von: Tolstolutskaya, G.D., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
von: Решетняк, Е.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Nanotubular crystals of garnierite Ni₆ (OH)₈[Si₄O₁₀]
von: Smolikov, A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние методов выращивания и легирования на радиационную стойкость n-Si, облучённого быстрыми нейтронами реактора
von: Долголенко, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Анализ прочности элементов пресс-форм из углерод-углеродных материалов для псевдоизостатического прессования
von: Ашихмин, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
von: Торяник, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
von: Березняк, Е.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование поцессов сварки многослойных структур из кристаллитов различного химическоо состава, получаемых горячей прокаткой в вакууме, для атомной энергетики
von: Борц, Б.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Деградаційні та відновні процеси у зворотньозміщених фосфідо-галієвих діодах, спричинені швидкими нейтронами реактора
von: Друзенко, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Развитие радиационных исследований на ЛУМЗИ
von: Зайцев, Б.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

О формообразовании кратеров при ионной бомбардировке
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации
von: Гончаров, И.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Частичное плавление и высокотемпературная структурная сверхпластичность сплава АМг2М
von: Педун, Д.Е., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Эволюция разрядной ячейки при вакуумно-дуговом разряде на меди
von: Павлов, В.С.
Veröffentlicht: (2004)

Структурное состояние и механические свойства поверхностного слоя лопатки, упрочненной токами высокой частоты
von: Глушкова, Д.Б., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Effect of carbon on the properties of CrN coatings formed by cathodic arc evaporation in stationary system
von: Kuprin, A.S., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние давления азота на структуру конденсатов, полученных из высокоэнтропийного сплава AlCrTiZrNbY при вакуумно-дуговом осаждении
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)

80 лет со дня рождения В.Ф. Зеленского
Veröffentlicht: (2009)

Regularities in the effect of model ion irradiation on the structure and properties of vacuum-arc nitride coatings
von: Andreev, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Усовершенствованный метод получения дисперсного диоксида циркония
von: Кутовой, В.А.
Veröffentlicht: (2011)

Radiation effects in semiconductor scintillators based on zinc selenide
von: Ryzhikov, V., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Травление поверхности металлов в плазме аргона
von: Капустин, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Ускорение кинетических процессов в аморфном и нанокристаллическом нитриде бора при ионном облучении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Механические свойства и структура микроламинатов системы медь-железо
von: Неклюдов, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О процессах тепло- и массопереноса в конденсированных средах с микроструктурой
von: Камышанченко, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Проблеми оптимізації протирадіаційного захисту промислових радіаційних технологічних установок
von: Сахно, В.І.
Veröffentlicht: (2005)

Методы компьютерного эксперимента в физике гамма-радиационных технологий с использованием новых источников излучения
von: Дюльдя, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Сhanges in the structural state and properties of vacuum-arc coatings based on high-entropy alloy TiZrHfNbTa under the influence of nitrogen pressure and bias potential at deposition
von: Sobol’, O.V., et al.
Veröffentlicht: (2018)