Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2003
• ISSN: 1562-6016
• Main Authors: Решетняк, Е.Н., Малыхин, С.В., Першин, Ю.П., Пугачев, А.Т.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110923
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si / Е.Н. Решетняк, С.В. Малыхин, Ю.П. Першин, А.Т. Пугачев // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 3. — С.161-166. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Методом рентгеновской дифрактометрии исследована структура пленок вольфрама и многослойных периодических W/Si-композиций, полученных методом магнетронного распыления. Показано, что химический и фазовый составы вольфрамовых слоев при неизменном давлении распыляющего газа ~0,35 Па определяяются скорос...