The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on su...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2008 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862742368530202624 |
|---|---|
| author | Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. |
| author_facet | Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. |
| citation_txt | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made.
Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість.
Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:25:26Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111035 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T20:25:26Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. 2017-01-07T18:43:13Z 2017-01-07T18:43:13Z 2008 The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.25.Xz, 52.27.Cm, 52.70.Kz, 52.75.-d, 85.40.Sz https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035 We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made. Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість. Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость. This work is supported by the grant 93/08-H en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition Дослідження оптичних спектрів в процесі магнетронного напилення Исследование оптических спектров в процессе магнетронного напыления Article published earlier |
| spellingShingle | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_alt | Дослідження оптичних спектрів в процесі магнетронного напилення Исследование оптических спектров в процессе магнетронного напыления |
| title_full | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_fullStr | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_full_unstemmed | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_short | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_sort | investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035 |
| work_keys_str_mv | AT demchishinav theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT evsyukovan theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT goncharovaa theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT kostineg theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT demchishinav doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT evsyukovan doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT goncharovaa doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT kostineg doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT demchishinav issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT evsyukovan issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT goncharovaa issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT kostineg issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT demchishinav investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT evsyukovan investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT goncharovaa investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT kostineg investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition |