The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on su...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111035 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. 2017-01-07T18:43:13Z 2017-01-07T18:43:13Z 2008 The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.25.Xz, 52.27.Cm, 52.70.Kz, 52.75.-d, 85.40.Sz https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035 We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made. Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість. Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость. This work is supported by the grant 93/08-H en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition Дослідження оптичних спектрів в процесі магнетронного напилення Исследование оптических спектров в процессе магнетронного напыления Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| spellingShingle |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_full |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_fullStr |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_full_unstemmed |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_sort |
investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| author |
Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. |
| author_facet |
Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2008 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Дослідження оптичних спектрів в процесі магнетронного напилення Исследование оптических спектров в процессе магнетронного напыления |
| description |
We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made.
Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість.
Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035 |
| citation_txt |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT demchishinav theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT evsyukovan theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT goncharovaa theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT kostineg theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT demchishinav doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT evsyukovan doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT goncharovaa doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT kostineg doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ AT demchishinav issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT evsyukovan issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT goncharovaa issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT kostineg issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ AT demchishinav investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT evsyukovan investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT goncharovaa investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT kostineg investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition |
| first_indexed |
2025-12-07T20:25:26Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:25:26Z |
| _version_ |
1850882525103128576 |