The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition

We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on su...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2008
Автори: Demchishin, A.V., Evsyukov, A.N., Goncharov, A.A., Kostin, E.G.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862742368530202624
author Demchishin, A.V.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
author_facet Demchishin, A.V.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
citation_txt The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made. Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість. Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость.
first_indexed 2025-12-07T20:25:26Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111035
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-12-07T20:25:26Z
publishDate 2008
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Demchishin, A.V.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
2017-01-07T18:43:13Z
2017-01-07T18:43:13Z
2008
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.25.Xz, 52.27.Cm, 52.70.Kz, 52.75.-d, 85.40.Sz
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035
We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made.
Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість.
Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость.
This work is supported by the grant 93/08-H
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Low temperature plasma and plasma technologies
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
Дослідження оптичних спектрів в процесі магнетронного напилення
Исследование оптических спектров в процессе магнетронного напыления
Article
published earlier
spellingShingle The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
Demchishin, A.V.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
Low temperature plasma and plasma technologies
title The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
title_alt Дослідження оптичних спектрів в процесі магнетронного напилення
Исследование оптических спектров в процессе магнетронного напыления
title_full The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
title_fullStr The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
title_full_unstemmed The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
title_short The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
title_sort investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
topic Low temperature plasma and plasma technologies
topic_facet Low temperature plasma and plasma technologies
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111035
work_keys_str_mv AT demchishinav theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition
AT evsyukovan theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition
AT goncharovaa theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition
AT kostineg theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition
AT demchishinav doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ
AT evsyukovan doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ
AT goncharovaa doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ
AT kostineg doslídžennâoptičnihspektrívvprocesímagnetronnogonapilennâ
AT demchishinav issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ
AT evsyukovan issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ
AT goncharovaa issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ
AT kostineg issledovanieoptičeskihspektrovvprocessemagnetronnogonapyleniâ
AT demchishinav investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition
AT evsyukovan investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition
AT goncharovaa investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition
AT kostineg investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition