Структурно-фазовые и электрофизические характеристики Cr₁₋x-Alx-N- и Cr₁₋x-Vx-N-покрытий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2008
• Main Author: Гугля, А.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111078
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структурно-фазовые и электрофизические характеристики Cr₁₋x-Alx-N- и Cr₁₋x-Vx-N-покрытий / А.Г. Гугля // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 155-158. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Исследованы структура, фазовый состав и электросопротивление нанокристаллических Cr₁₋x-Alx-N- и Cr₁₋x-Vx-N-покрытий, полученных путем одновременного осаждения паров металлов в условиях бомбардировки высокоэнергетичными ионами азота (IBAD method). Показано, что для обоих видов покрытий характерно фор...