Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно- дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны днища;...
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Series: | Вопросы атомной науки и техники |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |