Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий

• Date: 2008
• Main Authors: Аксёнов, И.И., Белоус, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
• Series: Вопросы атомной науки и техники
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно- дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны днища; система автоматической выгрузки-загрузки изделий; экранировка внутренних стенок камеры прогреваемыми до высоких температур панелями; усовершенствованные вакуумно-дуговые источники плазмы, в том числе источник с плазменным фильтром; однотрансформаторный четырехканальный источник питания дуги в источниках плазмы; система колебательных LC контуров для подавления микродуг на поверхностях обрабатываемых изделий; автоматическое управление технологическим циклом, включая процессы откачки камеры, выгрузки и загрузки изделий, весь процесс ионно-плазменной обработки загруженных изделий. Перечисленный комплекс технических решений обусловил значительные преимущества установки перед другим технологическим оборудованием аналогичного назначения. Уникальность и новизна установки сохранились до настоящего времени, спустя два десятилетия после её создания.