Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2008
• Main Authors: Долголенко, А.П., Гайдар, Г.П., Варенцов, М.Д., Литовченко, П.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут ядерних досліджень НАН України 2008
• Subjects: Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111095
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода / А.П. Долголенко, Г.П. Гайдар, М.Д. Варенцов, П.Г. Литовченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 36 назв. — рос.

Исследована радиационная стойкость образцов n-Si, выращенных методом Чохральского (Сz), с примесью германия (NGe=2•10²⁰ cм⁻³) и без нее после облучения быстрыми нейтронами. Обнаружено, что введение германия повышает радиационную стойкость n-Si. Показано, что отжиг кластеров дефектов связан с аннигил...