Исследование методом математического моделирования зависимости профилей первичного дефектообразования от угла падения ионов при низкотемпературном облучении поверхности меди ионами Al⁺
Методом математического моделирования, с использованием программных комплексов SPURT.MP и CALCMULT, исследована эволюция пространственного распределения имплантированных ионов и радиационных точечных дефектов по глубине Cu-мишени при облучении последней ионами Al+ с различными углами падения. Энерги...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111119 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование методом математического моделирования зависимости профилей первичного дефектообразования от угла падения ионов при низкотемпературном облучении поверхности меди ионами Al⁺ / В.И. Павленко, С.Н. Слепцов, В.И. Сафонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 31-48. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |