Зображення обкладинки

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы

Представлены результаты экспериментов по осаждению Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий из фильтрованной плазмы вакуумно-дугового разряда с Ti- и Ti-7 вес.%Si-катодами при давлении азота 1·10⁻⁴ … 5·10⁻³ Торр и потенциале подложки 3…150 В. Установлено, что содержание примеси Si в Ti для пленок системы Ti-Si-N из...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2009
Автори:	Васильев, В.В., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е., Толмачева, Г.Н., Решетняк, М.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Теми:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111121
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачева, М.В. Решетняк // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 173-180. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2008)

Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)

Адгезионная прочность нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым методом
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)

Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Твердость и адгезионная прочность ионно-плазменных покрытий квазибинарных систем TiB₂-WB₂ и TiC-WC
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)

Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Кавитационная стойкость покрытий TiN
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Сегрегационные явления в вакуумно-осаждённых нанокомпозитах Fe—W
за авторством: Бармин, А.Е., та інші
Опубліковано: (2012)

Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)

Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)