Образование кубического нитрида бора в термоупругих пиках ионов B⁺ при ионном осаждении покрытий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2009
• Main Authors: Калиниченко, А.И., Перепёлкин, С.С., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111122
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Образование кубического нитрида бора в термоупругих пиках ионов B⁺ при ионном осаждении покрытий / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 169-172. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

В модели нелокального термоупругого пика теоретически исследуется процесс образования фазы кубического нитрида бора в аморфном нитриде бора при облучении ионами B⁺ с энергией E от 25 до 1000 эВ. На фазовой P,T-диаграмме нитрида бора определены начальные положения и траектории точек, соответствующих...