Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів

На прикладі композиційних Ti-Si та Ti-Al катодних матеріалів експериментально досліджені особливості переносу компонентів цих матеріалів до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом. Виявлена можливість регулювання концентрації компонентів в покритті в широких межах зміною параметрів процесу о...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2009
Hauptverfasser: Аксьонов, І.І., Білоус, В.А., Голтвяниця, С.К., Голтвяниця, В.С., Задніпровський, Ю.О., Купрiн, О.С., Ломіно, М.С., Овчаренко, В.Д.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111123
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус, С.К. Голтвяниця, В.С. Голтвяниця, Ю.О. Задніпровський, O.С. Купрiн, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 181-184. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111123
record_format dspace
spelling Аксьонов, І.І.
Білоус, В.А.
Голтвяниця, С.К.
Голтвяниця, В.С.
Задніпровський, Ю.О.
Купрiн, О.С.
Ломіно, М.С.
Овчаренко, В.Д.
2017-01-08T10:54:14Z
2017-01-08T10:54:14Z
2009
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус, С.К. Голтвяниця, В.С. Голтвяниця, Ю.О. Задніпровський, O.С. Купрiн, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 181-184. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111123
621.793
На прикладі композиційних Ti-Si та Ti-Al катодних матеріалів експериментально досліджені особливості переносу компонентів цих матеріалів до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом. Виявлена можливість регулювання концентрації компонентів в покритті в широких межах зміною параметрів процесу осадження: негативної напруги зміщення на підкладці, температури підкладки, напруженості фокусуючого магнітного поля.
На примере композиционных Ti-Si и Ti-Al катодных материалов экспериментально исследованы особенности переноса компонентов этих материалов на покрытия, осаждаемые вакуумно-дуговым методом. Установлена возможность регулирования концентрации компонентов покрытия в широких пределах изменением параметров процесса осаждения: отрицательного напряжения смещения на подложке, её температуры и напряжённости фокусирующего магнитного поля.
On an example of composite Ti-Si and Ti-Al cathodic materials features of carrying over of components of these materials on the coatings deposited by a vakuumno-arc method are experimentally investigated. Possibility of regulation of the components concentration in the coating over a wide range is established by change of deposition process parameters: negative bias voltage on a substrate, its temperature and intensity of a focusing magnetic field.
uk
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
Перенос катодного материала в процессе вакуумно-дугового формирования покрытий
Transfer of the cathodic material in the course of vakuum-arc coating formation
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
spellingShingle Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
Аксьонов, І.І.
Білоус, В.А.
Голтвяниця, С.К.
Голтвяниця, В.С.
Задніпровський, Ю.О.
Купрiн, О.С.
Ломіно, М.С.
Овчаренко, В.Д.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
title_full Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
title_fullStr Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
title_full_unstemmed Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
title_sort перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
author Аксьонов, І.І.
Білоус, В.А.
Голтвяниця, С.К.
Голтвяниця, В.С.
Задніпровський, Ю.О.
Купрiн, О.С.
Ломіно, М.С.
Овчаренко, В.Д.
author_facet Аксьонов, І.І.
Білоус, В.А.
Голтвяниця, С.К.
Голтвяниця, В.С.
Задніпровський, Ю.О.
Купрiн, О.С.
Ломіно, М.С.
Овчаренко, В.Д.
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate 2009
language Ukrainian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Перенос катодного материала в процессе вакуумно-дугового формирования покрытий
Transfer of the cathodic material in the course of vakuum-arc coating formation
description На прикладі композиційних Ti-Si та Ti-Al катодних матеріалів експериментально досліджені особливості переносу компонентів цих матеріалів до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом. Виявлена можливість регулювання концентрації компонентів в покритті в широких межах зміною параметрів процесу осадження: негативної напруги зміщення на підкладці, температури підкладки, напруженості фокусуючого магнітного поля. На примере композиционных Ti-Si и Ti-Al катодных материалов экспериментально исследованы особенности переноса компонентов этих материалов на покрытия, осаждаемые вакуумно-дуговым методом. Установлена возможность регулирования концентрации компонентов покрытия в широких пределах изменением параметров процесса осаждения: отрицательного напряжения смещения на подложке, её температуры и напряжённости фокусирующего магнитного поля. On an example of composite Ti-Si and Ti-Al cathodic materials features of carrying over of components of these materials on the coatings deposited by a vakuumno-arc method are experimentally investigated. Possibility of regulation of the components concentration in the coating over a wide range is established by change of deposition process parameters: negative bias voltage on a substrate, its temperature and intensity of a focusing magnetic field.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111123
citation_txt Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус, С.К. Голтвяниця, В.С. Голтвяниця, Ю.О. Задніпровський, O.С. Купрiн, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 181-184. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT aksʹonovíí perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT bílousva perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT goltvânicâsk perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT goltvânicâvs perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT zadníprovsʹkiiûo perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT kuprinos perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT lomínoms perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT ovčarenkovd perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív
AT aksʹonovíí perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT bílousva perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT goltvânicâsk perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT goltvânicâvs perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT zadníprovsʹkiiûo perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT kuprinos perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT lomínoms perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT ovčarenkovd perenoskatodnogomaterialavprocessevakuumnodugovogoformirovaniâpokrytii
AT aksʹonovíí transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
AT bílousva transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
AT goltvânicâsk transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
AT goltvânicâvs transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
AT zadníprovsʹkiiûo transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
AT kuprinos transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
AT lomínoms transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
AT ovčarenkovd transferofthecathodicmaterialinthecourseofvakuumarccoatingformation
first_indexed 2025-12-07T18:12:27Z
last_indexed 2025-12-07T18:12:27Z
_version_ 1850874158588624896