Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
На прикладі композиційних Ti-Si та Ti-Al катодних матеріалів експериментально досліджені особливості переносу компонентів цих матеріалів до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом. Виявлена можливість регулювання концентрації компонентів в покритті в широких межах зміною параметрів процесу о...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | Аксьонов, І.І., Білоус, В.А., Голтвяниця, С.К., Голтвяниця, В.С., Задніпровський, Ю.О., Купрiн, О.С., Ломіно, М.С., Овчаренко, В.Д. |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111123 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус, С.К. Голтвяниця, В.С. Голтвяниця, Ю.О. Задніпровський, O.С. Купрiн, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 181-184. — Бібліогр.: 5 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
-
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
by: Аксьонов, І.І., et al.
Published: (2000) -
Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения
by: Алимов, В.Д., et al.
Published: (2014) -
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2010) -
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2007) -
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)