Спектральный эллипсометрический комплекс для диагностики радиационных превращений в металлах и сплавах

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2009
• Main Authors: Беляева, А.И., Галуза, А.А., Клепиков, В.Ф., Литвиненко, В.В., Пономарев, А.Г., Сагайдачный, М.А., Слатин, К.А., Уваров, В.В., Уваров, В.Т.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111125
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Спектральный эллипсометрический комплекс для диагностики радиационных превращений в металлах и сплавах / А.И. Беляева, А.А. Галуза, В.Ф. Клепиков, В.В. Литвиненко, А.Г. Пономарев, М.А. Сагайдачный, К.А. Слатин, В.В. Уваров, В.Т. Уваров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 191-197. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Описана проблема ранней диагностики радиационных преобразований, которые происходят на поверхности металлов и сплавов. Оптические методы рассматриваются как наиболее перспективные для исследования малых модификаций материалов. Создан автоматизированный спектральный многоугловой эллипсометр для иссле...