Геликонный разряд, возбуждаемый плоской антенной вдоль магнитного поля

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2003
• Main Authors: Слободян, В.М., Вирко, В.Ф., Кириченко, Г.С., Шамрай, К.П.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
• Subjects: Газовый разряд, ППР и их применения
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111175
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Геликонный разряд, возбуждаемый плоской антенной вдоль магнитного поля / В.М. Слободян, В.Ф. Вирко, Г.С. Кириченко, К.П. Шамрай // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 235-240. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Показано, что наложение магнитного поля на индукционный разряд, возбуждаемый плоской ВЧ-антенной, приводит к значительному росту плотности плазмы и распространению зоны ее активной генерации на весь объем разрядной камеры. Установлено наличие срывов разряда при достижении порога с ростом магнитного поля. В интервале полей ниже порога наблюдается несколько режимов разряда, смена которых сопровождается скачками плотности. Установлено существенное влияние конфигурации магнитного поля на эффективность источника. Расчеты электромагнитных полей и поглощения ВЧ-мощности в плазме источника показывают, что с ростом магнитного поля увеличиваются глубина и эффективность поглощения, а скачки плотности возможны из-за перестройки модовой структуры возбуждаемых геликонных волн.