New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine
The paper presents a description of new Ion Backscattering Beam Line. Small-size electrostatic accelerator “Sokol” with a beam energy range of 0.2…2.0 MeV is used as an ion source. A detail of the Beam Line is using of magnetic spectrometer which allows to carry out precise (several nm) quantitati...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111214 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine / A.A. Drozdenko, S.M. Duvanov, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 3. — С. 105-109. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111214 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Drozdenko, A.A. Duvanov, S.M. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. 2017-01-08T18:42:36Z 2017-01-08T18:42:36Z 2008 New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine / A.A. Drozdenko, S.M. Duvanov, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 3. — С. 105-109. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.17.+w, 29.30.Ep, 29.30.Aj https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111214 The paper presents a description of new Ion Backscattering Beam Line. Small-size electrostatic accelerator “Sokol” with a beam energy range of 0.2…2.0 MeV is used as an ion source. A detail of the Beam Line is using of magnetic spectrometer which allows to carry out precise (several nm) quantitative layer-by-layer non-destructive element analysis of solid composition and structure using Ion Elastic Scattering technique. Design of Backscattering Chamber allows realizing a full set of Ion Beam Analysis techniques. Proton and helium ion backscattering spectra are presented from the thin film samples. Simulated spectra fit well the experimental ones together. The last shows the analytical efficiency of Backscattering Beam Line. Описано новий канал зворотного розсіювання іонів. Джерелом іонів служить малогабаритний електростатичний прискорювач «Сокіл» з енергією пучка 0,2…2,0 МеВ. Особливістю каналу є використання магнітного спектрометра, який дозволяє проводити кількісний прецизійний (декілька нм) пошаровий неруйнівний елементний аналіз складу та структури твердих тіл методом пружного розсіювання іонів. Конструкція камер зворотного розсіювання дозволяє реалізовувати повний набір іонно-пучкових методів елементного аналізу. Представлені спектри зворотного розсіювання протонів та іонів гелію від тонкоплівкових зразків. Добре узгодження експериментального та розрахункового спектрів від імплантованого зразка корунду свідчить про дієздатність каналу зворотного розсіювання як аналітичного інструмента. Описан новый канал обратного рассеяния ионов. Источником ионов служит малогабаритный электростатический ускоритель «Сокол» с энергией пучка диапазоне 0,2…2,0 МэВ. Особенностью канала является использование магнитного спектрометра, позволяющего проводить количественный прецизионный (несколько нм) послойный неразрушающий элементный анализ состава и структуры твёрдых тел методом упругого рассеяния ионов. Канал состоит из: камеры обратного рассеяния общего назначения и камеры магнитного спектрометра с ионопроводом. Конструкция камер обратного рассеяния позволяет реализовать полный набор ионно-пучковых методов элементного анализа. Представлены спектры обратного рассеяния протонов и ионов гелия от тонкопленочных образцов. Хорошее согласие экспериментального и расчетного спектров от имплантированного образца корунда свидетельствует о работоспособности канала обратного рассеяния как аналитического инструмента. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и техника ускорителей New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine Новий канал пружного розсіювання іонів аналітичного комплексу Інституту прикладної фізики НАН України Новый канал упругого рассеяния ионов аналитического комплекса Института прикладной физики НАН Украины Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine |
| spellingShingle |
New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine Drozdenko, A.A. Duvanov, S.M. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Физика и техника ускорителей |
| title_short |
New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine |
| title_full |
New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine |
| title_fullStr |
New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine |
| title_full_unstemmed |
New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine |
| title_sort |
new ion elastic scattering beam line of analytical complex at iар nas ukraine |
| author |
Drozdenko, A.A. Duvanov, S.M. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. |
| author_facet |
Drozdenko, A.A. Duvanov, S.M. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. |
| topic |
Физика и техника ускорителей |
| topic_facet |
Физика и техника ускорителей |
| publishDate |
2008 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Новий канал пружного розсіювання іонів аналітичного комплексу Інституту прикладної фізики НАН України Новый канал упругого рассеяния ионов аналитического комплекса Института прикладной физики НАН Украины |
| description |
The paper presents a description of new Ion Backscattering Beam Line. Small-size electrostatic accelerator
“Sokol” with a beam energy range of 0.2…2.0 MeV is used as an ion source. A detail of the Beam Line is using of
magnetic spectrometer which allows to carry out precise (several nm) quantitative layer-by-layer non-destructive element
analysis of solid composition and structure using Ion Elastic Scattering technique. Design of Backscattering
Chamber allows realizing a full set of Ion Beam Analysis techniques. Proton and helium ion backscattering spectra
are presented from the thin film samples. Simulated spectra fit well the experimental ones together. The last shows
the analytical efficiency of Backscattering Beam Line.
Описано новий канал зворотного розсіювання іонів. Джерелом іонів служить малогабаритний електростатичний прискорювач «Сокіл» з енергією пучка 0,2…2,0 МеВ. Особливістю каналу є використання магнітного спектрометра, який дозволяє проводити кількісний прецизійний (декілька нм) пошаровий неруйнівний елементний аналіз складу та структури твердих тіл методом пружного розсіювання іонів. Конструкція камер зворотного розсіювання дозволяє реалізовувати повний набір іонно-пучкових методів елементного аналізу. Представлені спектри зворотного розсіювання протонів та іонів гелію від
тонкоплівкових зразків. Добре узгодження експериментального та розрахункового спектрів від імплантованого зразка корунду свідчить про дієздатність каналу зворотного розсіювання як аналітичного інструмента.
Описан новый канал обратного рассеяния ионов. Источником ионов служит малогабаритный электростатический ускоритель «Сокол» с энергией пучка диапазоне 0,2…2,0 МэВ. Особенностью канала является использование магнитного спектрометра, позволяющего проводить количественный прецизионный (несколько нм) послойный неразрушающий элементный анализ состава и структуры твёрдых тел методом упругого рассеяния ионов. Канал состоит из: камеры обратного рассеяния общего назначения и камеры магнитного спектрометра с ионопроводом. Конструкция камер обратного рассеяния позволяет реализовать полный набор ионно-пучковых методов элементного анализа. Представлены спектры обратного рассеяния протонов и ионов гелия от тонкопленочных образцов. Хорошее согласие экспериментального и расчетного спектров от
имплантированного образца корунда свидетельствует о работоспособности канала обратного рассеяния как аналитического инструмента.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111214 |
| citation_txt |
New Ion elastic scattering Beam Line of analytical complex at Iар NAS Ukraine / A.A. Drozdenko, S.M. Duvanov, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 3. — С. 105-109. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT drozdenkoaa newionelasticscatteringbeamlineofanalyticalcomplexatiarnasukraine AT duvanovsm newionelasticscatteringbeamlineofanalyticalcomplexatiarnasukraine AT mordyksn newionelasticscatteringbeamlineofanalyticalcomplexatiarnasukraine AT storizhkove newionelasticscatteringbeamlineofanalyticalcomplexatiarnasukraine AT drozdenkoaa noviikanalpružnogorozsíûvannâíonívanalítičnogokompleksuínstitutuprikladnoífízikinanukraíni AT duvanovsm noviikanalpružnogorozsíûvannâíonívanalítičnogokompleksuínstitutuprikladnoífízikinanukraíni AT mordyksn noviikanalpružnogorozsíûvannâíonívanalítičnogokompleksuínstitutuprikladnoífízikinanukraíni AT storizhkove noviikanalpružnogorozsíûvannâíonívanalítičnogokompleksuínstitutuprikladnoífízikinanukraíni AT drozdenkoaa novyikanaluprugogorasseâniâionovanalitičeskogokompleksainstitutaprikladnoifizikinanukrainy AT duvanovsm novyikanaluprugogorasseâniâionovanalitičeskogokompleksainstitutaprikladnoifizikinanukrainy AT mordyksn novyikanaluprugogorasseâniâionovanalitičeskogokompleksainstitutaprikladnoifizikinanukrainy AT storizhkove novyikanaluprugogorasseâniâionovanalitičeskogokompleksainstitutaprikladnoifizikinanukrainy |
| first_indexed |
2025-12-02T00:20:06Z |
| last_indexed |
2025-12-02T00:20:06Z |
| _version_ |
1850861241781714944 |