Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов
Современные технологии магнетронного напыления технологических и декоративных покрытий сегодня широко используются во всем мире. Наряду с использованием вакуумно-дуговых методов обработки они позволяют отказаться от экологически вредных химических методов получения слоев с заданными параметрами. Для...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111222 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, С.Н. Павлов, И.М. Проценко, Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 288-291. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862604384046678016 |
|---|---|
| author | Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. |
| author_facet | Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. |
| citation_txt | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, С.Н. Павлов, И.М. Проценко, Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 288-291. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Современные технологии магнетронного напыления технологических и декоративных покрытий сегодня широко используются во всем мире. Наряду с использованием вакуумно-дуговых методов обработки они позволяют отказаться от экологически вредных химических методов получения слоев с заданными параметрами. Для получения качественных покрытий необходима предварительная очистка и активация поверхности непосредственно перед напылением. Наиболее логичным решением представляется использование для этих целей плазменных источников близкого к магнетронам типа. Представляемая статья посвящена рассмотрению возможности работы в едином технологическом цикле с магнетроном различных модификаций плазменного ускорителя с анодным слоем. Представленные результаты демонстрируют высокую эффективность таких устройств и возможность создания технологических линий по непрерывной обработке поверхностей с различной геометрией. Скорости травления по меди (больше 1 нм/с) не уступают лучшим известным данным для источников кауфмановского типа. Диапазон рабочих давлений (до 1,2-3*10⁻³ мм рт.ст.) позволяет их размещать в общей камере с магнетроном.
|
| first_indexed | 2025-11-28T09:20:29Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111222 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T09:20:29Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. 2017-01-08T19:07:43Z 2017-01-08T19:07:43Z 2003 Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, С.Н. Павлов, И.М. Проценко, Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 288-291. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111222 533.9 Современные технологии магнетронного напыления технологических и декоративных покрытий сегодня широко используются во всем мире. Наряду с использованием вакуумно-дуговых методов обработки они позволяют отказаться от экологически вредных химических методов получения слоев с заданными параметрами. Для получения качественных покрытий необходима предварительная очистка и активация поверхности непосредственно перед напылением. Наиболее логичным решением представляется использование для этих целей плазменных источников близкого к магнетронам типа. Представляемая статья посвящена рассмотрению возможности работы в едином технологическом цикле с магнетроном различных модификаций плазменного ускорителя с анодным слоем. Представленные результаты демонстрируют высокую эффективность таких устройств и возможность создания технологических линий по непрерывной обработке поверхностей с различной геометрией. Скорости травления по меди (больше 1 нм/с) не уступают лучшим известным данным для источников кауфмановского типа. Диапазон рабочих давлений (до 1,2-3*10⁻³ мм рт.ст.) позволяет их размещать в общей камере с магнетроном. Работа выполнена при частичной поддержке НТЦУ проект №1596. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Приложения и технологии Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов Article published earlier |
| spellingShingle | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. Приложения и технологии |
| title | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_full | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_fullStr | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_full_unstemmed | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_short | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_sort | плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| topic | Приложения и технологии |
| topic_facet | Приложения и технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111222 |
| work_keys_str_mv | AT gončarovaa plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT dobrovolʹskiian plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT pavlovsn plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT procenkoim plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT kostineg plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov |