Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов
Современные технологии магнетронного напыления технологических и декоративных покрытий сегодня широко используются во всем мире. Наряду с использованием вакуумно-дуговых методов обработки они позволяют отказаться от экологически вредных химических методов получения слоев с заданными параметрами. Для...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111222 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, С.Н. Павлов, И.М. Проценко, Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 288-291. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111222 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. 2017-01-08T19:07:43Z 2017-01-08T19:07:43Z 2003 Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, С.Н. Павлов, И.М. Проценко, Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 288-291. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111222 533.9 Современные технологии магнетронного напыления технологических и декоративных покрытий сегодня широко используются во всем мире. Наряду с использованием вакуумно-дуговых методов обработки они позволяют отказаться от экологически вредных химических методов получения слоев с заданными параметрами. Для получения качественных покрытий необходима предварительная очистка и активация поверхности непосредственно перед напылением. Наиболее логичным решением представляется использование для этих целей плазменных источников близкого к магнетронам типа. Представляемая статья посвящена рассмотрению возможности работы в едином технологическом цикле с магнетроном различных модификаций плазменного ускорителя с анодным слоем. Представленные результаты демонстрируют высокую эффективность таких устройств и возможность создания технологических линий по непрерывной обработке поверхностей с различной геометрией. Скорости травления по меди (больше 1 нм/с) не уступают лучшим известным данным для источников кауфмановского типа. Диапазон рабочих давлений (до 1,2-3*10⁻³ мм рт.ст.) позволяет их размещать в общей камере с магнетроном. Работа выполнена при частичной поддержке НТЦУ проект №1596. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Приложения и технологии Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| spellingShingle |
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. Приложения и технологии |
| title_short |
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_full |
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_fullStr |
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_full_unstemmed |
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| title_sort |
плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов |
| author |
Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. |
| author_facet |
Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Павлов, С.Н. Проценко, И.М. Костин, Е.Г. |
| topic |
Приложения и технологии |
| topic_facet |
Приложения и технологии |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| description |
Современные технологии магнетронного напыления технологических и декоративных покрытий сегодня широко используются во всем мире. Наряду с использованием вакуумно-дуговых методов обработки они позволяют отказаться от экологически вредных химических методов получения слоев с заданными параметрами. Для получения качественных покрытий необходима предварительная очистка и активация поверхности непосредственно перед напылением. Наиболее логичным решением представляется использование для этих целей плазменных источников близкого к магнетронам типа. Представляемая статья посвящена рассмотрению возможности работы в едином технологическом цикле с магнетроном различных модификаций плазменного ускорителя с анодным слоем. Представленные результаты демонстрируют высокую эффективность таких устройств и возможность создания технологических линий по непрерывной обработке поверхностей с различной геометрией. Скорости травления по меди (больше 1 нм/с) не уступают лучшим известным данным для источников кауфмановского типа. Диапазон рабочих давлений (до 1,2-3*10⁻³ мм рт.ст.) позволяет их размещать в общей камере с магнетроном.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111222 |
| citation_txt |
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, С.Н. Павлов, И.М. Проценко, Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 288-291. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gončarovaa plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT dobrovolʹskiian plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT pavlovsn plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT procenkoim plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov AT kostineg plazmennyiuskoritelʹsanodnymsloemdlâobrabotkipoverhnostimaterialov |
| first_indexed |
2025-11-28T09:20:29Z |
| last_indexed |
2025-11-28T09:20:29Z |
| _version_ |
1850853472553926656 |