Permissible technological limitations of quadrupole lenses used in parameter multiplets for ion microprobe forming

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2003
• Main Authors: Melnik, K.I., Ponomarev, A.G.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
• Subjects: Приложения и технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111225
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Permissible technological limitations of quadrupole lenses used in parameter multiplets for ion microprobe forming / K.I. Melnik, A.G. Ponomarev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 4. — С. 301-304. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Parasitic components of lens field are ones of the main parameters that determine spatial resolution of the MeV energy ion microprobe based on parameter multiplet of the magnetic quadrupole lenses. The parameter set of probe-forming systems was examined, the maximum permissible parasitic components...