Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺

Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺

Проведено численное моделирование изменения морфологии поверхности кремния при распылении ионами аргона. На основе совместного использования процедуры Монте-Карло и континуального подхода установлена диаграмма устойчивости поверхностных структур, имеющих наноразмерный масштаб. Выяснены скейлинговые...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2011
Автори:	Харченко, Д.О., Харченко, В.О.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Теми:	Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111285
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺ / Д.О. Харченко, В.О. Харченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 16-21. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Влияние облучения тяжелыми ионами высоких энергий на структурные изменения в аморфных сплавах
за авторством: Дидык, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2003)

Компьютерное моделирование профилей дефектообразования при низкотемпературном облучении наноструктурной пленки Nb ионами Ti⁺
за авторством: Павленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)

Моделирование образования структуры областей видоизмененного вещества при формировании тяжелыми ионами высоких энергий сферических треков
за авторством: Демчишин, А.Б., та інші
Опубліковано: (2010)

Моделирование влияния осколков деления урана на материал оболочек тепловыделяющих элементов реакторов тяжелыми ионами высоких энергий
за авторством: Хофман, А., та інші
Опубліковано: (2005)

Исследование методом математического моделирования зависимости профилей первичного дефектообразования от угла падения ионов при низкотемпературном облучении поверхности меди ионами Al⁺
за авторством: Павленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности морфологии алмазных покрытий с нанокристаллической структурой
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние зарядности ионов на формирование профиля первичных повреждений в кристаллах, облучаемых ионами
за авторством: Алтынов, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Распыление углеродных материалов ионами водорода, дейтерия и гелия в припороговой области энергий
за авторством: Суворов, А.Л., та інші
Опубліковано: (2000)

Использование модели термического пика в трехмерной решетке при облучении тяжелыми ионами высоких энергий
за авторством: Дидык, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2005)

Распухание дисперсно-упрочненной оксидами иттрия стали 0Х18Н10Т, облученной тяжелыми ионами
за авторством: Брык, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Радиационное распухание ферритно-мартенситных сталей ЭП-450 и НТ-9 при облучении металлическими ионами до сверхвысоких доз
за авторством: Бородин, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Роль легирования элементами с разным атомным несоответствием в развитии микроструктуры в никеле при облучении ионами гелия
за авторством: Чернов, И.И., та інші
Опубліковано: (2000)

Захват дейтерия на ловушках, созданных в стали Х18Н10Т при облучении высокоэнергетическими ионами аргона
за авторством: Копанец, И.Е., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние облучения тяжелыми ионами Cr³⁺ на микроструктуру стали 08Х18Н10Т ДУО, механически легированной нанопорошком системы Y₂O₃-ZRO₂
за авторством: Старостенко, С.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Обратимые и необратимые изменения в облучаемом материале
за авторством: Танатаров, Л.В.
Опубліковано: (2009)

Особенности механизма изменения электропроводности радиационнообработанных пластинок циркония
за авторством: Гарибов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Микроскопическое исследование поверхности радиационно-термически окисленного бериллия
за авторством: Гаджиева, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние изменения растворимости примесей при облучении на скорость охрупчивания феррито-перлитных примесей сталей
за авторством: Сидоренко, О.Г., та інші
Опубліковано: (2005)

Структурно – фазовые изменения в Fe-Ni-инваре при высокотемпературном электронном облучении
за авторством: Данилов, С.Е., та інші
Опубліковано: (2007)

Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
за авторством: Марченко, И.Г., та інші
Опубліковано: (2004)

Влияние модификации поверхности сапфира при ионном облучении на выход возбужденных частиц
за авторством: Афанасьева, И.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Ориентационный эффект деления потока отраженных ионов конусами Венера на поверхности твердого тела
за авторством: Братченко, М.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Влияние гамма-излучения на выход водорода при радиолизе воды на поверхности наноциркония
за авторством: Агаев, Т.Н., та інші
Опубліковано: (2017)

Особенности распространения трещины в сталях при испытаниях образцов шарпи и дисковых образцов
за авторством: Харченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Особенности структурообразования поверхности промышленного алюминиевого сплава 6111 в зоне воздействия ипульсного пучка электронов в режиме предплавления
за авторством: Брюховецкий, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Моделирование прохождения электронов через слоистый композиционный материал
за авторством: Борц, Б.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Метод Монте-Карло макроскопического моделирования малоуглового отражения бытрых заряженных частиц от поверхности твердого тела
за авторством: Дюльдя, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Модификация поверхности циркония и сплава Zr1%Nb электронным пучком ускорителя на основе магнетронной пушки
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Моделирование РСТ–диаграмм металлогидридов в области неупорядоченных фаз
за авторством: Маринин, В.С., та інші
Опубліковано: (2003)

Влияние нейтронного облучения на температурно-скоростные изменения характеристик прочности и пластичности сплава 03Х20Н45М4БРЦ и стали 12Х18Н10Т
за авторством: Максимкин, О.П., та інші
Опубліковано: (2003)

Моделирование повышения пластичности материалов под действием импульсов электрического тока
за авторством: Дубинко, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Кинетические коэффициенты в поле ИК-подсветки n-Si, облучённого быстрыми нейтронами реактора
за авторством: Долголенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2015)

Математическое моделирование радиационной ползучести реакторного топлива на примере урана и его сплавов
за авторством: Тарасов, В.А.
Опубліковано: (2001)

Еlectret properties of γ-irradiated composites of ultrahigh molecular weight polyethylene/α-SiO₂
за авторством: Magerramov, A.M., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование влияния реакторного облучения на термоэлектрические свойства сильнолегированного n- и p-Si₀,₇Ge₀,₃
за авторством: Бокучава, Г. В., та інші
Опубліковано: (2005)

Моделирование распухания стали Х18Н10Т в имитационных и реакторных условиях
за авторством: Кальченко, А.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Эволюция потока и поглощение излучения в слоистых случайных средах: теория и компьютерное моделирование
за авторством: Братченко, М.И., та інші
Опубліковано: (2004)

Образование и отжиг метастабильного водородосодержащего центра в облученных кристаллах Cz-Si: влияние различных факторов
за авторством: Медведева, И.Ф., та інші
Опубліковано: (2001)

The annealing of high - level doped materials on the base of the n – and p – Si₀.₇ Ge₀.₃ solid solution under reactor irradiation
за авторством: Dolgolenko, A.P.
Опубліковано: (2006)

Поведение магнитных свойств аморфных и нанокристаллических сплавов базовой системы Fe-Si-B, подвергнутых γ-облучению
за авторством: Неймаш, В.Б., та інші
Опубліковано: (2002)