Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
Приведены результаты исследований по получению самонесущих алмазных пленок толщиной до 350 мкм. Показано, что при получении алмазных пленок в плазме с повышенной плотностью энергии можно повысить их скорость роста в несколько раз без снижения качества по такому показателю, как удельное электрическое...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111296 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения / Е.П. Березняк, А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, А.В. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 137-140. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862537530079969280 |
|---|---|
| author | Березняк, Е.П. Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Рыбка, А.В. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Березняк, Е.П. Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Рыбка, А.В. Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения / Е.П. Березняк, А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, А.В. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 137-140. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Приведены результаты исследований по получению самонесущих алмазных пленок толщиной до 350 мкм. Показано, что при получении алмазных пленок в плазме с повышенной плотностью энергии можно повысить их скорость роста в несколько раз без снижения качества по такому показателю, как удельное электрическое сопротивление. Использование кремниевых подложек при выращивании толстых алмазных пленок имеет определенные преимущества перед использованием для этих целей молибденовых подложек
Наведено результати досліджень по отриманню самонесучих алмазних плівок товщиною до 350 мкм. Показано, що при отриманні алмазних плівок у плазмі з підвищеною щільністю енергії можна збільшити їх швидкість росту в декілька разів без зниження їхньої якості по такому показнику, як питомий електричний опір. Використання кремнієвих підкладок при вирощуванні товстих алмазних плівок має певні переваги перед використанням для цих цілей молібденових підкладок
Results of researches on synthesis of self-supported diamond films by thickness up to 350 microns are presented. It was shown that at diamond films deposition in plasma with enhanced energy density it is possible to increase growth rate in several times without deterioration such property as specific electric resistance. Using silicon substrates for growing of diamond thick films has the certain advantages in comparison the use for these aims of molybdenum ones.
|
| first_indexed | 2025-11-24T11:44:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111296 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T11:44:20Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Березняк, Е.П. Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Рыбка, А.В. Стрельницкий, В.Е. 2017-01-09T14:18:32Z 2017-01-09T14:18:32Z 2011 Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения / Е.П. Березняк, А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, А.В. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 137-140. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111296 537.534.2:679.826 Приведены результаты исследований по получению самонесущих алмазных пленок толщиной до 350 мкм. Показано, что при получении алмазных пленок в плазме с повышенной плотностью энергии можно повысить их скорость роста в несколько раз без снижения качества по такому показателю, как удельное электрическое сопротивление. Использование кремниевых подложек при выращивании толстых алмазных пленок имеет определенные преимущества перед использованием для этих целей молибденовых подложек Наведено результати досліджень по отриманню самонесучих алмазних плівок товщиною до 350 мкм. Показано, що при отриманні алмазних плівок у плазмі з підвищеною щільністю енергії можна збільшити їх швидкість росту в декілька разів без зниження їхньої якості по такому показнику, як питомий електричний опір. Використання кремнієвих підкладок при вирощуванні товстих алмазних плівок має певні переваги перед використанням для цих цілей молібденових підкладок Results of researches on synthesis of self-supported diamond films by thickness up to 350 microns are presented. It was shown that at diamond films deposition in plasma with enhanced energy density it is possible to increase growth rate in several times without deterioration such property as specific electric resistance. Using silicon substrates for growing of diamond thick films has the certain advantages in comparison the use for these aims of molybdenum ones. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения Отримання самонесучих полікристалічних алмазних плівок для детекторів іонізуючого випромінювання Synthesis of self-supported polycrystalline diamond films for detectors of ionizing radiation Article published earlier |
| spellingShingle | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения Березняк, Е.П. Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Рыбка, А.В. Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения |
| title_alt | Отримання самонесучих полікристалічних алмазних плівок для детекторів іонізуючого випромінювання Synthesis of self-supported polycrystalline diamond films for detectors of ionizing radiation |
| title_full | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения |
| title_fullStr | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения |
| title_full_unstemmed | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения |
| title_short | Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения |
| title_sort | получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111296 |
| work_keys_str_mv | AT bereznâkep polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT verevkinaa polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT vyrovecii polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT gricynavi polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT dudniksf polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT kutniive polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT opalevoa polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT rešetnâken polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT rybkaav polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT strelʹnickiive polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ AT bereznâkep otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT verevkinaa otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT vyrovecii otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT gricynavi otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT dudniksf otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT kutniive otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT opalevoa otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT rešetnâken otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT rybkaav otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT strelʹnickiive otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ AT bereznâkep synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT verevkinaa synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT vyrovecii synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT gricynavi synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT dudniksf synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT kutniive synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT opalevoa synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT rešetnâken synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT rybkaav synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation AT strelʹnickiive synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation |