Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения

Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения

Приведены результаты исследований по получению самонесущих алмазных пленок толщиной до 350 мкм. Показано, что при получении алмазных пленок в плазме с повышенной плотностью энергии можно повысить их скорость роста в несколько раз без снижения качества по такому показателю, как удельное электрическое...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2011
Hauptverfasser: Березняк, Е.П., Веревкин, А.А., Выровец, И.И., Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кутний, В.Е., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Рыбка, А.В., Стрельницкий, В.Е.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Schlagworte:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111296
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения / Е.П. Березняк, А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, А.В. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 137-140. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111296
record_format dspace
spelling Березняк, Е.П.
Веревкин, А.А.
Выровец, И.И.
Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кутний, В.Е.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Рыбка, А.В.
Стрельницкий, В.Е.
2017-01-09T14:18:32Z
2017-01-09T14:18:32Z
2011
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения / Е.П. Березняк, А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, А.В. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 137-140. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111296
537.534.2:679.826
Приведены результаты исследований по получению самонесущих алмазных пленок толщиной до 350 мкм. Показано, что при получении алмазных пленок в плазме с повышенной плотностью энергии можно повысить их скорость роста в несколько раз без снижения качества по такому показателю, как удельное электрическое сопротивление. Использование кремниевых подложек при выращивании толстых алмазных пленок имеет определенные преимущества перед использованием для этих целей молибденовых подложек
Наведено результати досліджень по отриманню самонесучих алмазних плівок товщиною до 350 мкм. Показано, що при отриманні алмазних плівок у плазмі з підвищеною щільністю енергії можна збільшити їх швидкість росту в декілька разів без зниження їхньої якості по такому показнику, як питомий електричний опір. Використання кремнієвих підкладок при вирощуванні товстих алмазних плівок має певні переваги перед використанням для цих цілей молібденових підкладок
Results of researches on synthesis of self-supported diamond films by thickness up to 350 microns are presented. It was shown that at diamond films deposition in plasma with enhanced energy density it is possible to increase growth rate in several times without deterioration such property as specific electric resistance. Using silicon substrates for growing of diamond thick films has the certain advantages in comparison the use for these aims of molybdenum ones.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
Отримання самонесучих полікристалічних алмазних плівок для детекторів іонізуючого випромінювання
Synthesis of self-supported polycrystalline diamond films for detectors of ionizing radiation
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
spellingShingle Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
Березняк, Е.П.
Веревкин, А.А.
Выровец, И.И.
Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кутний, В.Е.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Рыбка, А.В.
Стрельницкий, В.Е.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
title_full Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
title_fullStr Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
title_full_unstemmed Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
title_sort получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
author Березняк, Е.П.
Веревкин, А.А.
Выровец, И.И.
Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кутний, В.Е.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Рыбка, А.В.
Стрельницкий, В.Е.
author_facet Березняк, Е.П.
Веревкин, А.А.
Выровец, И.И.
Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кутний, В.Е.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Рыбка, А.В.
Стрельницкий, В.Е.
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate 2011
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Отримання самонесучих полікристалічних алмазних плівок для детекторів іонізуючого випромінювання
Synthesis of self-supported polycrystalline diamond films for detectors of ionizing radiation
description Приведены результаты исследований по получению самонесущих алмазных пленок толщиной до 350 мкм. Показано, что при получении алмазных пленок в плазме с повышенной плотностью энергии можно повысить их скорость роста в несколько раз без снижения качества по такому показателю, как удельное электрическое сопротивление. Использование кремниевых подложек при выращивании толстых алмазных пленок имеет определенные преимущества перед использованием для этих целей молибденовых подложек Наведено результати досліджень по отриманню самонесучих алмазних плівок товщиною до 350 мкм. Показано, що при отриманні алмазних плівок у плазмі з підвищеною щільністю енергії можна збільшити їх швидкість росту в декілька разів без зниження їхньої якості по такому показнику, як питомий електричний опір. Використання кремнієвих підкладок при вирощуванні товстих алмазних плівок має певні переваги перед використанням для цих цілей молібденових підкладок Results of researches on synthesis of self-supported diamond films by thickness up to 350 microns are presented. It was shown that at diamond films deposition in plasma with enhanced energy density it is possible to increase growth rate in several times without deterioration such property as specific electric resistance. Using silicon substrates for growing of diamond thick films has the certain advantages in comparison the use for these aims of molybdenum ones.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111296
fulltext
citation_txt Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения / Е.П. Березняк, А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, А.В. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 137-140. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT bereznâkep polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT verevkinaa polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT vyrovecii polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT gricynavi polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT dudniksf polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT kutniive polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT opalevoa polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT rešetnâken polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT rybkaav polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT strelʹnickiive polučeniesamonesuŝihpolikristalličeskihalmaznyhplenokdlâdetektorovioniziruûŝegoizlučeniâ
AT bereznâkep otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT verevkinaa otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT vyrovecii otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT gricynavi otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT dudniksf otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT kutniive otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT opalevoa otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT rešetnâken otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT rybkaav otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT strelʹnickiive otrimannâsamonesučihpolíkristalíčnihalmaznihplívokdlâdetektorívíonízuûčogovipromínûvannâ
AT bereznâkep synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT verevkinaa synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT vyrovecii synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT gricynavi synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT dudniksf synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT kutniive synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT opalevoa synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT rešetnâken synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT rybkaav synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
AT strelʹnickiive synthesisofselfsupportedpolycrystallinediamondfilmsfordetectorsofionizingradiation
first_indexed 2025-11-24T11:44:20Z
last_indexed 2025-11-24T11:44:20Z
_version_ 1850846079247974400

Ähnliche Einträge