Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2011
• Main Authors: Березняк, Е.П., Веревкин, А.А., Выровец, И.И., Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кутний, В.Е., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Рыбка, А.В., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111296
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения / Е.П. Березняк, А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, А.В. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 137-140. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Приведены результаты исследований по получению самонесущих алмазных пленок толщиной до 350 мкм. Показано, что при получении алмазных пленок в плазме с повышенной плотностью энергии можно повысить их скорость роста в несколько раз без снижения качества по такому показателю, как удельное электрическое...