Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме
С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов. З позицій рівноважної термодинамі...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111304 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме / Ю.И. Поляков, Г.Н. Картмазов, Ю.В. Лукирский, С.Г. Руденький, Л.А. Ферлий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 163-167. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862723261518839808 |
|---|---|
| author | Поляков, Ю.И. Картмазов, Г.Н. Лукирский, Ю.В. Руденький, С.Г. Ферлий, Л.А. |
| author_facet | Поляков, Ю.И. Картмазов, Г.Н. Лукирский, Ю.В. Руденький, С.Г. Ферлий, Л.А. |
| citation_txt | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме / Ю.И. Поляков, Г.Н. Картмазов, Ю.В. Лукирский, С.Г. Руденький, Л.А. Ферлий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 163-167. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов.
З позицій рівноважної термодинаміки оцінено деякі закономірності процесів отримання покриття шляхом осадження металів з їх летких сполук у вакуумі. Розрахункові значення енергії активації хімічних реакцій знаходяться в згоді з відомими з експериментів.
From the standpoint of equilibrium thermodynamics to assess some of the processes obtaining coatings by deposition of metals from their volatile compounds in a vacuum. In particular, the calculated activation energies for chemical reactions are in agreement with the known from the experiments.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:40:43Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111304 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:40:43Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Поляков, Ю.И. Картмазов, Г.Н. Лукирский, Ю.В. Руденький, С.Г. Ферлий, Л.А. 2017-01-09T14:31:29Z 2017-01-09T14:31:29Z 2011 Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме / Ю.И. Поляков, Г.Н. Картмазов, Ю.В. Лукирский, С.Г. Руденький, Л.А. Ферлий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 163-167. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111304 621.793.16 С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов. З позицій рівноважної термодинаміки оцінено деякі закономірності процесів отримання покриття шляхом осадження металів з їх летких сполук у вакуумі. Розрахункові значення енергії активації хімічних реакцій знаходяться в згоді з відомими з експериментів. From the standpoint of equilibrium thermodynamics to assess some of the processes obtaining coatings by deposition of metals from their volatile compounds in a vacuum. In particular, the calculated activation energies for chemical reactions are in agreement with the known from the experiments. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме Кінетика піролізу летких сполук металів при нанесенні покриттів у вакуумі Pyrolysis metal volatile compounds kinetics at application in vacuum Article published earlier |
| spellingShingle | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме Поляков, Ю.И. Картмазов, Г.Н. Лукирский, Ю.В. Руденький, С.Г. Ферлий, Л.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме |
| title_alt | Кінетика піролізу летких сполук металів при нанесенні покриттів у вакуумі Pyrolysis metal volatile compounds kinetics at application in vacuum |
| title_full | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме |
| title_fullStr | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме |
| title_full_unstemmed | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме |
| title_short | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме |
| title_sort | кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111304 |
| work_keys_str_mv | AT polâkovûi kinetikapirolizaletučihsoedineniimetallovprinaneseniipokrytiivvakuume AT kartmazovgn kinetikapirolizaletučihsoedineniimetallovprinaneseniipokrytiivvakuume AT lukirskiiûv kinetikapirolizaletučihsoedineniimetallovprinaneseniipokrytiivvakuume AT rudenʹkiisg kinetikapirolizaletučihsoedineniimetallovprinaneseniipokrytiivvakuume AT ferliila kinetikapirolizaletučihsoedineniimetallovprinaneseniipokrytiivvakuume AT polâkovûi kínetikapírolízuletkihspolukmetalívprinanesennípokrittívuvakuumí AT kartmazovgn kínetikapírolízuletkihspolukmetalívprinanesennípokrittívuvakuumí AT lukirskiiûv kínetikapírolízuletkihspolukmetalívprinanesennípokrittívuvakuumí AT rudenʹkiisg kínetikapírolízuletkihspolukmetalívprinanesennípokrittívuvakuumí AT ferliila kínetikapírolízuletkihspolukmetalívprinanesennípokrittívuvakuumí AT polâkovûi pyrolysismetalvolatilecompoundskineticsatapplicationinvacuum AT kartmazovgn pyrolysismetalvolatilecompoundskineticsatapplicationinvacuum AT lukirskiiûv pyrolysismetalvolatilecompoundskineticsatapplicationinvacuum AT rudenʹkiisg pyrolysismetalvolatilecompoundskineticsatapplicationinvacuum AT ferliila pyrolysismetalvolatilecompoundskineticsatapplicationinvacuum |