Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2011
• Main Authors: Поляков, Ю.И., Картмазов, Г.Н., Лукирский, Ю.В., Руденький, С.Г., Ферлий, Л.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111304
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме / Ю.И. Поляков, Г.Н. Картмазов, Ю.В. Лукирский, С.Г. Руденький, Л.А. Ферлий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 163-167. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов. З позицій рівноважної термодинамі...