Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме
С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов. З позицій рівноважної термодинамі...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111304 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме / Ю.И. Поляков, Г.Н. Картмазов, Ю.В. Лукирский, С.Г. Руденький, Л.А. Ферлий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 163-167. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |