Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхност...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111372 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении / В.В. Тесленко-Пономаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 175-178. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862715540566441984 |
|---|---|
| author | Тесленко-Пономаренко, В.В. |
| author_facet | Тесленко-Пономаренко, В.В. |
| citation_txt | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении / В.В. Тесленко-Пономаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 175-178. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхности плёнок локальных неоднородностей, обусловленных микропробоями на мишени, которые возникают во время осаждения плёнок.
Методом магнетронного розпилення Al при тиску в камері ~ 10⁻² Па отримані плівки Al₂O₃. Визначено структуру, пористість, мікротвердість, мікротопографія поверхні плівок для ряду режимів їхнього нанесення. Отримані квазіаморфні плівки з мікротвердістю 13...15 ГПа. Установлено наявність на поверхні плівок локальних неоднорідностей, обумовлених мікропробоями на мішені, що виникають під час осадження плівок.
The films Al₂O₃ were obtained with the help of the method of magnetron sputtering of Al under pressure in the chamber ~10⁻² Pa. The structure, porosity, microhardness, microtopography of the surface of films were determined for the number of regimes of the deposition. Quasiamorphous films with microhardness 13...15 GPa were obtained. The presence of local non-uniformities on the surface was determined. These non-uniformities are conditioned by the microarcs on the target which appear during film deposition.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:58:50Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111372 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:58:50Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Тесленко-Пономаренко, В.В. 2017-01-09T17:40:54Z 2017-01-09T17:40:54Z 2003 Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении / В.В. Тесленко-Пономаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 175-178. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111372 539.23: 681.723.7 Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхности плёнок локальных неоднородностей, обусловленных микропробоями на мишени, которые возникают во время осаждения плёнок. Методом магнетронного розпилення Al при тиску в камері ~ 10⁻² Па отримані плівки Al₂O₃. Визначено структуру, пористість, мікротвердість, мікротопографія поверхні плівок для ряду режимів їхнього нанесення. Отримані квазіаморфні плівки з мікротвердістю 13...15 ГПа. Установлено наявність на поверхні плівок локальних неоднорідностей, обумовлених мікропробоями на мішені, що виникають під час осадження плівок. The films Al₂O₃ were obtained with the help of the method of magnetron sputtering of Al under pressure in the chamber ~10⁻² Pa. The structure, porosity, microhardness, microtopography of the surface of films were determined for the number of regimes of the deposition. Quasiamorphous films with microhardness 13...15 GPa were obtained. The presence of local non-uniformities on the surface was determined. These non-uniformities are conditioned by the microarcs on the target which appear during film deposition. Автор выражает благодарность А.В. Зыкову за предложенную тему и помощь в проведении экспериментов, Ларсу Бойрману (ФРГ) за помощь в проведении измерений микротопографии поверхности плёнок, В.Г. Маринину за поддержку работы и полезные советы при её оформлении. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении Дослідження мікротопографії поверхні плівок Al₂O₃, отриманих методом магнетронного розпилення при низькому тиску The research of microtopography of surfaces of Al₂O₃ films obtained by the method of magnetron sputtering under low pressure Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении Тесленко-Пономаренко, В.В. Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| title | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении |
| title_alt | Дослідження мікротопографії поверхні плівок Al₂O₃, отриманих методом магнетронного розпилення при низькому тиску The research of microtopography of surfaces of Al₂O₃ films obtained by the method of magnetron sputtering under low pressure |
| title_full | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении |
| title_fullStr | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении |
| title_full_unstemmed | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении |
| title_short | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении |
| title_sort | исследование микротопографии поверхности плёнок al₂o₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении |
| topic | Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| topic_facet | Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111372 |
| work_keys_str_mv | AT teslenkoponomarenkovv issledovaniemikrotopografiipoverhnostiplenokal2o3polučennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâprinizkomdavlenii AT teslenkoponomarenkovv doslídžennâmíkrotopografíípoverhníplívokal2o3otrimanihmetodommagnetronnogorozpilennâprinizʹkomutisku AT teslenkoponomarenkovv theresearchofmicrotopographyofsurfacesofal2o3filmsobtainedbythemethodofmagnetronsputteringunderlowpressure |