Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2003
• 1. Verfasser: Тесленко-Пономаренко, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
• Schlagworte: Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111372
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении / В.В. Тесленко-Пономаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 175-178. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхност...