Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий

Показано, что небольшие добавки кремния (до 3 вес. %) в покрытиях на основе нитридов титана приводят к значительным изменениям характеристик (стойкостипротив износа трением и против ионного распыления, эрозионной стойкости, шероховатости) получаемых конденсатов по сравнению с покрытиями на основе «ч...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2011
Автори: Аксёнов, И.И., Белоус, В.А., Заднепровский, Ю.А., Коваленко, В.И., Ломино, Н.С.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111437
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, В.И. Коваленко, Н.С. Ломино // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 145-149. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862672719842115584
author Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
Заднепровский, Ю.А.
Коваленко, В.И.
Ломино, Н.С.
author_facet Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
Заднепровский, Ю.А.
Коваленко, В.И.
Ломино, Н.С.
citation_txt Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, В.И. Коваленко, Н.С. Ломино // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 145-149. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Показано, что небольшие добавки кремния (до 3 вес. %) в покрытиях на основе нитридов титана приводят к значительным изменениям характеристик (стойкостипротив износа трением и против ионного распыления, эрозионной стойкости, шероховатости) получаемых конденсатов по сравнению с покрытиями на основе «чистых» нитридов титана. Так, с ростом концентрации кремния в покрытии повышается стойкость к износу трением и к ионному распылению, а стойкость к кавитационному износу падает. Наличие существенных внутренних напряжений в покрытиях, синтезируемых в области давлений азота около 10⁻³ Торр, приводит к ограничениям на предельную толщину конденсатов вследствие возникновения разрушений в виде поверхностных сколов. Показано, що невеликі домішки кремнію (до 3 ваг. %) у покриттях на основі нітридів титану викликають значні зміни службових характеристик одержуваних конденсатів у порівнянні з покриттями на основі «чистих» нітридів титану. Так, з підвищенням концентрації кремнію в покритті зростає його стійкість до зносу абразивним тертям і до іонного розпилення, а стійкість до кавітаційного зносу спадає. Наявність надмірних внутрішніх напружень у покриттях, синтезованих в області тисків азоту 10⁻³ Торр, призводить до обмежень щодо найбільших товщин конденсатів внаслідок виникнення руйнувань у вигляді поверхневих відколів. It is shown, that small silicon admixtures (to 3 %) in coatings on the basis of titanium nitrides lead to the considerable changes of performances (resistance against the wear and the ion sputtering, erosion resistance, a roughness) of deposited condensates in comparison with coatings on the basis of "pure" titanium nitrides. So, with growth of concentration of silicon in the coatings, the resistance against the wear and the ion sputtering raises, and resistance against cavitation decreases. Presence of essential interior stresses in the coatings synthesised in the field of pressures of nitrogen nearby 10⁻³ Тоrr, leads to restrictions on the limiting thickness of condensates owing to occurrence of surface fragments exfoliations.
first_indexed 2025-12-07T15:37:03Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111437
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-07T15:37:03Z
publishDate 2011
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
Заднепровский, Ю.А.
Коваленко, В.И.
Ломино, Н.С.
2017-01-09T20:32:32Z
2017-01-09T20:32:32Z
2011
Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, В.И. Коваленко, Н.С. Ломино // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 145-149. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111437
621.793
Показано, что небольшие добавки кремния (до 3 вес. %) в покрытиях на основе нитридов титана приводят к значительным изменениям характеристик (стойкостипротив износа трением и против ионного распыления, эрозионной стойкости, шероховатости) получаемых конденсатов по сравнению с покрытиями на основе «чистых» нитридов титана. Так, с ростом концентрации кремния в покрытии повышается стойкость к износу трением и к ионному распылению, а стойкость к кавитационному износу падает. Наличие существенных внутренних напряжений в покрытиях, синтезируемых в области давлений азота около 10⁻³ Торр, приводит к ограничениям на предельную толщину конденсатов вследствие возникновения разрушений в виде поверхностных сколов.
Показано, що невеликі домішки кремнію (до 3 ваг. %) у покриттях на основі нітридів титану викликають значні зміни службових характеристик одержуваних конденсатів у порівнянні з покриттями на основі «чистих» нітридів титану. Так, з підвищенням концентрації кремнію в покритті зростає його стійкість до зносу абразивним тертям і до іонного розпилення, а стійкість до кавітаційного зносу спадає. Наявність надмірних внутрішніх напружень у покриттях, синтезованих в області тисків азоту 10⁻³ Торр, призводить до обмежень щодо найбільших товщин конденсатів внаслідок виникнення руйнувань у вигляді поверхневих відколів.
It is shown, that small silicon admixtures (to 3 %) in coatings on the basis of titanium nitrides lead to the considerable changes of performances (resistance against the wear and the ion sputtering, erosion resistance, a roughness) of deposited condensates in comparison with coatings on the basis of "pure" titanium nitrides. So, with growth of concentration of silicon in the coatings, the resistance against the wear and the ion sputtering raises, and resistance against cavitation decreases. Presence of essential interior stresses in the coatings synthesised in the field of pressures of nitrogen nearby 10⁻³ Тоrr, leads to restrictions on the limiting thickness of condensates owing to occurrence of surface fragments exfoliations.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
Вплив малих домішок кремнію на службові характеристики нітрид-титанових покриттів
Influence of small silicon admixtures on the working performances of nitride-titanium coatings
Article
published earlier
spellingShingle Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
Заднепровский, Ю.А.
Коваленко, В.И.
Ломино, Н.С.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
title_alt Вплив малих домішок кремнію на службові характеристики нітрид-титанових покриттів
Influence of small silicon admixtures on the working performances of nitride-titanium coatings
title_full Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
title_fullStr Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
title_full_unstemmed Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
title_short Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
title_sort влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111437
work_keys_str_mv AT aksenovii vliâniemalyhdobavokkremniânaslužebnyeharakteristikinitridtitanovyhpokrytii
AT belousva vliâniemalyhdobavokkremniânaslužebnyeharakteristikinitridtitanovyhpokrytii
AT zadneprovskiiûa vliâniemalyhdobavokkremniânaslužebnyeharakteristikinitridtitanovyhpokrytii
AT kovalenkovi vliâniemalyhdobavokkremniânaslužebnyeharakteristikinitridtitanovyhpokrytii
AT lominons vliâniemalyhdobavokkremniânaslužebnyeharakteristikinitridtitanovyhpokrytii
AT aksenovii vplivmalihdomíšokkremníûnaslužbovíharakteristikinítridtitanovihpokrittív
AT belousva vplivmalihdomíšokkremníûnaslužbovíharakteristikinítridtitanovihpokrittív
AT zadneprovskiiûa vplivmalihdomíšokkremníûnaslužbovíharakteristikinítridtitanovihpokrittív
AT kovalenkovi vplivmalihdomíšokkremníûnaslužbovíharakteristikinítridtitanovihpokrittív
AT lominons vplivmalihdomíšokkremníûnaslužbovíharakteristikinítridtitanovihpokrittív
AT aksenovii influenceofsmallsiliconadmixturesontheworkingperformancesofnitridetitaniumcoatings
AT belousva influenceofsmallsiliconadmixturesontheworkingperformancesofnitridetitaniumcoatings
AT zadneprovskiiûa influenceofsmallsiliconadmixturesontheworkingperformancesofnitridetitaniumcoatings
AT kovalenkovi influenceofsmallsiliconadmixturesontheworkingperformancesofnitridetitaniumcoatings
AT lominons influenceofsmallsiliconadmixturesontheworkingperformancesofnitridetitaniumcoatings