Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
Методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ионной имплантации (способ PBIID) получены покрытия нитрида титана с твердостью, достигающей 62 ГПа и высокой стойкостью к износу при резании. Подача высоковольтных импульсов приводит к формированию стабильного структурного состояния мононитрида т...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | Соболь, О.В., Андреев, А.А., Григорьев, С.Н., Горбань, В.Ф., Волосова, М.А., Алешин, С.В., Столбовой, В.А. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111450 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, В.Ф. Горбань, М.А. Волосова, С.В. Алешин, В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 174-177. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
von: Кузьмин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Кузьмин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Сегрегационные явления в вакуумно-осаждённых нанокомпозитах Fe—W
von: Бармин, А.Е., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Бармин, А.Е., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
von: Столбовой, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Столбовой, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Влияние потенциала смещения и давления азота на структурно-напряженное состояние и свойства нитридных покрытий, полученных испарением высокоэнтропийных сплавов вакуумно-дуговым методом
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Напряженное состояние в металле с дефектами при пропускании импульсов электрического тока
von: Степанов, Г.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Степанов, Г.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Микрокристаллическое покрытие Fe-Ti-C, сформированное вакуумно-дуговым методом осаждения
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Структура и механические свойства вакуумно-дуговых многослойных конденсатов нитридов титана и его сплавов
von: Демчишин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Демчишин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)
О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
von: Лунёв, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Лунёв, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
von: Коваленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Коваленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
von: Решетняк, Е.Н.
Veröffentlicht: (2013)
von: Решетняк, Е.Н.
Veröffentlicht: (2013)
Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Особенности малоамперной аргонодуговой и микроплазменной порошковой наплавки на узкую подложку
von: Яровицын, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Яровицын, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
von: Столбовой, В.А.
Veröffentlicht: (2009)
von: Столбовой, В.А.
Veröffentlicht: (2009)
Ähnliche Einträge
-
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011) -
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006) -
Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016) -
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013) -
Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)