Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2011
• Main Authors: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Григорьев, С.Н., Горбань, В.Ф., Волосова, М.А., Алешин, С.В., Столбовой, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111450
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, В.Ф. Горбань, М.А. Волосова, С.В. Алешин, В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 174-177. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ионной имплантации (способ PBIID) получены покрытия нитрида титана с твердостью, достигающей 62 ГПа и высокой стойкостью к износу при резании. Подача высоковольтных импульсов приводит к формированию стабильного структурного состояния мононитрида т...