Особенности морфологии алмазных покрытий с нанокристаллической структурой

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Schlagworte: Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111452
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности морфологии алмазных покрытий с нанокристаллической структурой / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 165-168. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Приведены результаты исследований морфологии наноструктурных алмазных покрытий, полученных в широком диапазоне условий их синтеза из газовой фазы. В зависимости от условий их получения возможна реализация нескольких морфологических типов структуры поверхности – глобулярной и пластинчатой. Исследования шероховатости поверхности покрытий со структурой разного типа показали, что структура пластинчатого типа более предпочтительна для получения наноструктурных алмазных покрытий с минимальной шероховатостью. Наведено результати досліджень морфології наноструктурних алмазних покриттів, отриманих у широ-кому діапазоні умов їхнього синтезу з газової фази. Залежно від умов їхнього отримання можлива реалізація декількох морфологічних типів структури поверхні – глобулярної й пластинчастої. Дослідження шорсткості поверхні покриттів зі структурою різного типу показали, що структура пластинчастого типу вважається за кращу для отримання наноструктурних алмазних покриттів з мінімальною шорсткістю. Results of researches of morphology of nanocrystalline diamond coatings deposited from gas phase in a wide range of conditions of their synthesis are given. Depending on conditions of their deposition several morphological types of a surface structure – globular and lamellar is possible. Studies of the coatings roughness with different mor-phological structure have shown that the lamellar type structure is more preferable to get nanocrystalline diamond coatings with the minimal roughness.