Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием

Представлены результаты исследований структуры, твердости и стойкости к механическому воздействию покрытий TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N и Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), осажденных с помощью вакуумно-дугового источника фильтрованной плазмы при подаче высоковольтных импульсов потенциала смещения на подложку. Установле...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2011
Main Authors: Васильев, В.В., Коваленко, В.И., Лучанинов, А.А., Маринин, В.Г., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е., Толмачева, Г.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111453
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием / В.В. Васильев, В.И. Коваленко, А.А. Лучанинов, В.Г. Маринин, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачева // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 160-164. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862724468499021824
author Васильев, В.В.
Коваленко, В.И.
Лучанинов, А.А.
Маринин, В.Г.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
Толмачева, Г.Н.
author_facet Васильев, В.В.
Коваленко, В.И.
Лучанинов, А.А.
Маринин, В.Г.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
Толмачева, Г.Н.
citation_txt Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием / В.В. Васильев, В.И. Коваленко, А.А. Лучанинов, В.Г. Маринин, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачева // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 160-164. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Представлены результаты исследований структуры, твердости и стойкости к механическому воздействию покрытий TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N и Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), осажденных с помощью вакуумно-дугового источника фильтрованной плазмы при подаче высоковольтных импульсов потенциала смещения на подложку. Установлено, что все исследованные покрытия характеризуются высокой твердостью 30…36 ГПа и достаточно низким эрозионным износом. Легирование иттрием приводит к дополнительному увеличению стойкости покрытий. Средние скорости кавитационного и абразивного износа покрытия (Ti, Al)N+1ат.%Y в 3-5 раз ниже, чем покрытия (Ti, Al)N, и в 10 раз ниже, чем покрытия TiN. Обсуждается влияние малых добавок Y на структуру и свойства покрытий. Наведено результати досліджень структури, твердості та стійкості до механічного впливу покриттів TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N и Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), що були осаджені за допомогою вакуумно-дугового джерела фільтрованої плазми при подачі високовольтних імпульсів потенціалу зміщення на підкладку. Встановлено, що всі досліджені покриття характеризуються досить високою твердістю 30…36 ГПа і низьким ерозійним зносом. Легування покриттів ітрієм призводить до додаткового збільшення стійкості покриттів. Середні швидкості кавітаційного та абразивного зносу покриття (Ti, Al)N +1 ат.% Y у 3-5 разів нижче, ніж покриття (Ti, Al)N, та у 10 разів нижче, ніж покриття TiN. Обговорюється вплив малих домішок Y на структуру і властивості покриттів. The results of investigations of the structure, hardness and mechanical resistance of TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N and Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), coatings deposited from the vacuum-arc source with the macroparticle filter at high voltage pulsed substrate bias are presented. All of the tested coatings are characterized with high hardness of 30…36 GPa and erosion wear of low level. Doping of the Ti0,5Al0,5N coating with yttrium results in additional increase in its durability. The average rates of cavitation and erosion wear of the (Ti, Al)N+1at.%Y coating is 3-5 times lower than that of (Ti, Al)N one, and 10 times lower than that of TiN one. The influence of the low additions of yttrium on the structure and properties of the coatings are discussed.
first_indexed 2025-12-07T18:47:23Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111453
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:47:23Z
publishDate 2011
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Васильев, В.В.
Коваленко, В.И.
Лучанинов, А.А.
Маринин, В.Г.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
Толмачева, Г.Н.
2017-01-10T08:56:43Z
2017-01-10T08:56:43Z
2011
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием / В.В. Васильев, В.И. Коваленко, А.А. Лучанинов, В.Г. Маринин, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачева // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 160-164. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111453
539.21:621.793
Представлены результаты исследований структуры, твердости и стойкости к механическому воздействию покрытий TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N и Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), осажденных с помощью вакуумно-дугового источника фильтрованной плазмы при подаче высоковольтных импульсов потенциала смещения на подложку. Установлено, что все исследованные покрытия характеризуются высокой твердостью 30…36 ГПа и достаточно низким эрозионным износом. Легирование иттрием приводит к дополнительному увеличению стойкости покрытий. Средние скорости кавитационного и абразивного износа покрытия (Ti, Al)N+1ат.%Y в 3-5 раз ниже, чем покрытия (Ti, Al)N, и в 10 раз ниже, чем покрытия TiN. Обсуждается влияние малых добавок Y на структуру и свойства покрытий.
Наведено результати досліджень структури, твердості та стійкості до механічного впливу покриттів TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N и Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), що були осаджені за допомогою вакуумно-дугового джерела фільтрованої плазми при подачі високовольтних імпульсів потенціалу зміщення на підкладку. Встановлено, що всі досліджені покриття характеризуються досить високою твердістю 30…36 ГПа і низьким ерозійним зносом. Легування покриттів ітрієм призводить до додаткового збільшення стійкості покриттів. Середні швидкості кавітаційного та абразивного зносу покриття (Ti, Al)N +1 ат.% Y у 3-5 разів нижче, ніж покриття (Ti, Al)N, та у 10 разів нижче, ніж покриття TiN. Обговорюється вплив малих домішок Y на структуру і властивості покриттів.
The results of investigations of the structure, hardness and mechanical resistance of TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N and Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), coatings deposited from the vacuum-arc source with the macroparticle filter at high voltage pulsed substrate bias are presented. All of the tested coatings are characterized with high hardness of 30…36 GPa and erosion wear of low level. Doping of the Ti0,5Al0,5N coating with yttrium results in additional increase in its durability. The average rates of cavitation and erosion wear of the (Ti, Al)N+1at.%Y coating is 3-5 times lower than that of (Ti, Al)N one, and 10 times lower than that of TiN one. The influence of the low additions of yttrium on the structure and properties of the coatings are discussed.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
Механічні властивості та ерозійна стійкість вакуумно-дугових покриттів (Ti, Al)N, модифікованих ітрієм
Mechanical properties and erosion resistance of the vacuum-arc coatings (Ti, Al)N modified with yttrium
Article
published earlier
spellingShingle Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
Васильев, В.В.
Коваленко, В.И.
Лучанинов, А.А.
Маринин, В.Г.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
Толмачева, Г.Н.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
title_alt Механічні властивості та ерозійна стійкість вакуумно-дугових покриттів (Ti, Al)N, модифікованих ітрієм
Mechanical properties and erosion resistance of the vacuum-arc coatings (Ti, Al)N modified with yttrium
title_full Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
title_fullStr Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
title_full_unstemmed Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
title_short Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
title_sort механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (ti, al)n, модифицированных иттрием
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111453
work_keys_str_mv AT vasilʹevvv mehaničeskiesvoistvaiérozionnaâstoikostʹvakuumnodugovyhpokrytiitialnmodificirovannyhittriem
AT kovalenkovi mehaničeskiesvoistvaiérozionnaâstoikostʹvakuumnodugovyhpokrytiitialnmodificirovannyhittriem
AT lučaninovaa mehaničeskiesvoistvaiérozionnaâstoikostʹvakuumnodugovyhpokrytiitialnmodificirovannyhittriem
AT marininvg mehaničeskiesvoistvaiérozionnaâstoikostʹvakuumnodugovyhpokrytiitialnmodificirovannyhittriem
AT rešetnâken mehaničeskiesvoistvaiérozionnaâstoikostʹvakuumnodugovyhpokrytiitialnmodificirovannyhittriem
AT strelʹnickiive mehaničeskiesvoistvaiérozionnaâstoikostʹvakuumnodugovyhpokrytiitialnmodificirovannyhittriem
AT tolmačevagn mehaničeskiesvoistvaiérozionnaâstoikostʹvakuumnodugovyhpokrytiitialnmodificirovannyhittriem
AT vasilʹevvv mehaníčnívlastivostítaerozíinastíikístʹvakuumnodugovihpokrittívtialnmodifíkovanihítríêm
AT kovalenkovi mehaníčnívlastivostítaerozíinastíikístʹvakuumnodugovihpokrittívtialnmodifíkovanihítríêm
AT lučaninovaa mehaníčnívlastivostítaerozíinastíikístʹvakuumnodugovihpokrittívtialnmodifíkovanihítríêm
AT marininvg mehaníčnívlastivostítaerozíinastíikístʹvakuumnodugovihpokrittívtialnmodifíkovanihítríêm
AT rešetnâken mehaníčnívlastivostítaerozíinastíikístʹvakuumnodugovihpokrittívtialnmodifíkovanihítríêm
AT strelʹnickiive mehaníčnívlastivostítaerozíinastíikístʹvakuumnodugovihpokrittívtialnmodifíkovanihítríêm
AT tolmačevagn mehaníčnívlastivostítaerozíinastíikístʹvakuumnodugovihpokrittívtialnmodifíkovanihítríêm
AT vasilʹevvv mechanicalpropertiesanderosionresistanceofthevacuumarccoatingstialnmodifiedwithyttrium
AT kovalenkovi mechanicalpropertiesanderosionresistanceofthevacuumarccoatingstialnmodifiedwithyttrium
AT lučaninovaa mechanicalpropertiesanderosionresistanceofthevacuumarccoatingstialnmodifiedwithyttrium
AT marininvg mechanicalpropertiesanderosionresistanceofthevacuumarccoatingstialnmodifiedwithyttrium
AT rešetnâken mechanicalpropertiesanderosionresistanceofthevacuumarccoatingstialnmodifiedwithyttrium
AT strelʹnickiive mechanicalpropertiesanderosionresistanceofthevacuumarccoatingstialnmodifiedwithyttrium
AT tolmačevagn mechanicalpropertiesanderosionresistanceofthevacuumarccoatingstialnmodifiedwithyttrium