Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2011
• Main Authors: Васильев, В.В., Коваленко, В.И., Лучанинов, А.А., Маринин, В.Г., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е., Толмачева, Г.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111453
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием / В.В. Васильев, В.И. Коваленко, А.А. Лучанинов, В.Г. Маринин, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачева // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 160-164. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Представлены результаты исследований структуры, твердости и стойкости к механическому воздействию покрытий TiN, Ti₀,₅Al₀,₅N и Ti₀,₅-хAl₀,₅YxN (х≤0,01), осажденных с помощью вакуумно-дугового источника фильтрованной плазмы при подаче высоковольтных импульсов потенциала смещения на подложку. Установле...