Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2011
• Main Authors: Аксёнов, Д.С., Аксёнов, И.И., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е., Толмачёва, Г.Н., Юрков, С.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111501
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачёва, С.А. Юрков // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 154-159. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Для получения Ti-Al-N-покрытий использовалась вакуумно-дуговая система с двухканальным T-образным магнитным фильтром. Покрытия осаждались путём смешивания потоков фильтрованной плазмы от двух источников с катодами из алюминия и титана в атмосфере азота. Методами рентгеноструктурного анализа и наноин...