Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда

Описаны конструкция и принцип работы источника эрозионной плазмы с трехступенчатой системой возбуждения вакуумно-дугового разряда. В качестве двух первых ступеней используется применяемая в штатных источниках плазмы установок «Булат» видоизмененная бесконтактная система запуска с плазменным инжектор...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2013
Автор: Сысоев, Ю.А.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111553
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 5. — С. 154-157. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862706800219914240
author Сысоев, Ю.А.
author_facet Сысоев, Ю.А.
citation_txt Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 5. — С. 154-157. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Описаны конструкция и принцип работы источника эрозионной плазмы с трехступенчатой системой возбуждения вакуумно-дугового разряда. В качестве двух первых ступеней используется применяемая в штатных источниках плазмы установок «Булат» видоизмененная бесконтактная система запуска с плазменным инжектором, работа третьей ступени запуска основана на переходе тлеющего разряда в дуговой. Согласованная работа ступеней запуска на различных этапах формирования покрытий обеспечивает существенное повышение ресурса и надежности системы инициирования вакуумно-дугового разряда и расширяет функциональные возможности источника плазмы. Описано конструкцію та принцип роботи джерела ерозійної плазми з триступінчатою системою збудження вакуумно-дугового розряду. В якості двох перших ступенів використовується застосовувана в штатних джерелах плазми установок «Булат» видозмінена безконтактна система запуску з плазмовим інжектором, робота третього ступеня запуску заснована на переході тліючого розряду в дуговий. Узгоджена робота ступенів запуску на різних етапах формування покриттів забезпечує істотне підвищення ресурсу та надійності системи ініціювання вакуумно-дугового розряду і розширює функціональні можливості джерела плазми. The construction and the operation principle of erosion plasma source with a three-stage system of vacuum-arc discharge excitation is described. As first two step was used the modified contactless start system with plasma injector, which was widely used in standard plasma sources of the “Bulat” systems. The operation principle of the third stage was based on the transition of glow discharge to arc discharge. Coordinated operation of three stages during various stages of coating deposition provided significant increasing of service life and reliability of the system of vacuum-arc discharge initiation and extended the functionality of the plasma source.
first_indexed 2025-12-07T17:01:35Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111553
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:01:35Z
publishDate 2013
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Сысоев, Ю.А.
2017-01-10T17:49:07Z
2017-01-10T17:49:07Z
2013
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 5. — С. 154-157. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111553
621.793
Описаны конструкция и принцип работы источника эрозионной плазмы с трехступенчатой системой возбуждения вакуумно-дугового разряда. В качестве двух первых ступеней используется применяемая в штатных источниках плазмы установок «Булат» видоизмененная бесконтактная система запуска с плазменным инжектором, работа третьей ступени запуска основана на переходе тлеющего разряда в дуговой. Согласованная работа ступеней запуска на различных этапах формирования покрытий обеспечивает существенное повышение ресурса и надежности системы инициирования вакуумно-дугового разряда и расширяет функциональные возможности источника плазмы.
Описано конструкцію та принцип роботи джерела ерозійної плазми з триступінчатою системою збудження вакуумно-дугового розряду. В якості двох перших ступенів використовується застосовувана в штатних джерелах плазми установок «Булат» видозмінена безконтактна система запуску з плазмовим інжектором, робота третього ступеня запуску заснована на переході тліючого розряду в дуговий. Узгоджена робота ступенів запуску на різних етапах формування покриттів забезпечує істотне підвищення ресурсу та надійності системи ініціювання вакуумно-дугового розряду і розширює функціональні можливості джерела плазми.
The construction and the operation principle of erosion plasma source with a three-stage system of vacuum-arc discharge excitation is described. As first two step was used the modified contactless start system with plasma injector, which was widely used in standard plasma sources of the “Bulat” systems. The operation principle of the third stage was based on the transition of glow discharge to arc discharge. Coordinated operation of three stages during various stages of coating deposition provided significant increasing of service life and reliability of the system of vacuum-arc discharge initiation and extended the functionality of the plasma source.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
Технологічне джерело плазми з комбінованою системою збудження вакуумно-дугового розряду
Technological plasma source equipped with combined system of vacuum-arc discharge initiation
Article
published earlier
spellingShingle Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
Сысоев, Ю.А.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
title_alt Технологічне джерело плазми з комбінованою системою збудження вакуумно-дугового розряду
Technological plasma source equipped with combined system of vacuum-arc discharge initiation
title_full Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
title_fullStr Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
title_full_unstemmed Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
title_short Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
title_sort технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111553
work_keys_str_mv AT sysoevûa tehnologičeskiiistočnikplazmyskombinirovannoisistemoivozbuždeniâvakuumnodugovogorazrâda
AT sysoevûa tehnologíčnedžereloplazmizkombínovanoûsistemoûzbudžennâvakuumnodugovogorozrâdu
AT sysoevûa technologicalplasmasourceequippedwithcombinedsystemofvacuumarcdischargeinitiation