Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
Описаны конструкция и принцип работы источника эрозионной плазмы с трехступенчатой системой возбуждения вакуумно-дугового разряда. В качестве двух первых ступеней используется применяемая в штатных источниках плазмы установок «Булат» видоизмененная бесконтактная система запуска с плазменным инжектор...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111553 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 5. — С. 154-157. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111553 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Сысоев, Ю.А. 2017-01-10T17:49:07Z 2017-01-10T17:49:07Z 2013 Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 5. — С. 154-157. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111553 621.793 Описаны конструкция и принцип работы источника эрозионной плазмы с трехступенчатой системой возбуждения вакуумно-дугового разряда. В качестве двух первых ступеней используется применяемая в штатных источниках плазмы установок «Булат» видоизмененная бесконтактная система запуска с плазменным инжектором, работа третьей ступени запуска основана на переходе тлеющего разряда в дуговой. Согласованная работа ступеней запуска на различных этапах формирования покрытий обеспечивает существенное повышение ресурса и надежности системы инициирования вакуумно-дугового разряда и расширяет функциональные возможности источника плазмы. Описано конструкцію та принцип роботи джерела ерозійної плазми з триступінчатою системою збудження вакуумно-дугового розряду. В якості двох перших ступенів використовується застосовувана в штатних джерелах плазми установок «Булат» видозмінена безконтактна система запуску з плазмовим інжектором, робота третього ступеня запуску заснована на переході тліючого розряду в дуговий. Узгоджена робота ступенів запуску на різних етапах формування покриттів забезпечує істотне підвищення ресурсу та надійності системи ініціювання вакуумно-дугового розряду і розширює функціональні можливості джерела плазми. The construction and the operation principle of erosion plasma source with a three-stage system of vacuum-arc discharge excitation is described. As first two step was used the modified contactless start system with plasma injector, which was widely used in standard plasma sources of the “Bulat” systems. The operation principle of the third stage was based on the transition of glow discharge to arc discharge. Coordinated operation of three stages during various stages of coating deposition provided significant increasing of service life and reliability of the system of vacuum-arc discharge initiation and extended the functionality of the plasma source. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда Технологічне джерело плазми з комбінованою системою збудження вакуумно-дугового розряду Technological plasma source equipped with combined system of vacuum-arc discharge initiation Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда |
| spellingShingle |
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда Сысоев, Ю.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда |
| title_full |
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда |
| title_fullStr |
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда |
| title_full_unstemmed |
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда |
| title_sort |
технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда |
| author |
Сысоев, Ю.А. |
| author_facet |
Сысоев, Ю.А. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2013 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Технологічне джерело плазми з комбінованою системою збудження вакуумно-дугового розряду Technological plasma source equipped with combined system of vacuum-arc discharge initiation |
| description |
Описаны конструкция и принцип работы источника эрозионной плазмы с трехступенчатой системой возбуждения вакуумно-дугового разряда. В качестве двух первых ступеней используется применяемая в штатных источниках плазмы установок «Булат» видоизмененная бесконтактная система запуска с плазменным инжектором, работа третьей ступени запуска основана на переходе тлеющего разряда в дуговой. Согласованная работа ступеней запуска на различных этапах формирования покрытий обеспечивает существенное повышение ресурса и надежности системы инициирования вакуумно-дугового разряда и расширяет функциональные возможности источника плазмы.
Описано конструкцію та принцип роботи джерела ерозійної плазми з триступінчатою системою збудження вакуумно-дугового розряду. В якості двох перших ступенів використовується застосовувана в штатних джерелах плазми установок «Булат» видозмінена безконтактна система запуску з плазмовим інжектором, робота третього ступеня запуску заснована на переході тліючого розряду в дуговий. Узгоджена робота ступенів запуску на різних етапах формування покриттів забезпечує істотне підвищення ресурсу та надійності системи ініціювання вакуумно-дугового розряду і розширює функціональні можливості джерела плазми.
The construction and the operation principle of erosion plasma source with a three-stage system of vacuum-arc discharge excitation is described. As first two step was used the modified contactless start system with plasma injector, which was widely used in standard plasma sources of the “Bulat” systems. The operation principle of the third stage was based on the transition of glow discharge to arc discharge. Coordinated operation of three stages during various stages of coating deposition provided significant increasing of service life and reliability of the system of vacuum-arc discharge initiation and extended the functionality of the plasma source.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111553 |
| citation_txt |
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 5. — С. 154-157. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT sysoevûa tehnologičeskiiistočnikplazmyskombinirovannoisistemoivozbuždeniâvakuumnodugovogorazrâda AT sysoevûa tehnologíčnedžereloplazmizkombínovanoûsistemoûzbudžennâvakuumnodugovogorozrâdu AT sysoevûa technologicalplasmasourceequippedwithcombinedsystemofvacuumarcdischargeinitiation |
| first_indexed |
2025-12-07T17:01:35Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:01:35Z |
| _version_ |
1850869699757211648 |