Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Крушинская, Л.А., Стельмах, Я.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Schlagworte: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111672
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвердости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия. Досліджено залежності морфології поверхні, структури та фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, отриманих методом EB PVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати вимірів мікротвердості та електричної міцності конденсатів оксиду алюмінію. Dependences of a surface morphology, structure and phase composition of the thick alumina condensates obtained by EB PVD on condensation temperature are investigated. Presence of a nanostructured component of various morphology and phase structure in a wide interval of temperatures of condensation is revealed. Results of microhardness and electric durability measurements of alumina condensates are also reported.