Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приве...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111672 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862739283316572160 |
|---|---|
| author | Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. |
| author_facet | Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. |
| citation_txt | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвердости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия.
Досліджено залежності морфології поверхні, структури та фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, отриманих методом EB PVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати вимірів мікротвердості та електричної міцності конденсатів оксиду алюмінію.
Dependences of a surface morphology, structure and phase composition of the thick alumina condensates obtained by EB PVD on condensation temperature are investigated. Presence of a nanostructured component of various morphology and phase structure in a wide interval of temperatures of condensation is revealed. Results of microhardness and electric durability measurements of alumina condensates are also reported.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:08:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111672 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:08:20Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. 2017-01-13T16:28:48Z 2017-01-13T16:28:48Z 2011 Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111672 546.832: 621.785.37 Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвердости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия. Досліджено залежності морфології поверхні, структури та фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, отриманих методом EB PVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати вимірів мікротвердості та електричної міцності конденсатів оксиду алюмінію. Dependences of a surface morphology, structure and phase composition of the thick alumina condensates obtained by EB PVD on condensation temperature are investigated. Presence of a nanostructured component of various morphology and phase structure in a wide interval of temperatures of condensation is revealed. Results of microhardness and electric durability measurements of alumina condensates are also reported. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме Структура та деякі властивості товстих конденсатів оксиду алюмінію, отриманих електронно-променевим випаром і осадженням парової фази у вакуумі Structure and some properties of thick alumina condensates by EB PVD Article published earlier |
| spellingShingle | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_alt | Структура та деякі властивості товстих конденсатів оксиду алюмінію, отриманих електронно-променевим випаром і осадженням парової фази у вакуумі Structure and some properties of thick alumina condensates by EB PVD |
| title_full | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_fullStr | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_full_unstemmed | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_short | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_sort | структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111672 |
| work_keys_str_mv | AT krušinskaâla strukturainekotoryesvoistvatolstyhkondensatovoksidaalûminiâpolučaemyhélektronnolučevymispareniemiosaždeniemparovoifazyvvakuume AT stelʹmahâa strukturainekotoryesvoistvatolstyhkondensatovoksidaalûminiâpolučaemyhélektronnolučevymispareniemiosaždeniemparovoifazyvvakuume AT krušinskaâla strukturatadeâkívlastivostítovstihkondensatívoksidualûmíníûotrimanihelektronnopromenevimviparomíosadžennâmparovoífaziuvakuumí AT stelʹmahâa strukturatadeâkívlastivostítovstihkondensatívoksidualûmíníûotrimanihelektronnopromenevimviparomíosadžennâmparovoífaziuvakuumí AT krušinskaâla structureandsomepropertiesofthickaluminacondensatesbyebpvd AT stelʹmahâa structureandsomepropertiesofthickaluminacondensatesbyebpvd |