Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приве...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111672 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |