Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде
На основе экспериментальных данных проведены количественные оценки массового расхода катодного вещества, поступающего в разряд за счет механизма распыления рабочих поверхностей катодов под действием ионных потоков предварительно созданной газовой плазмы в импульсном отражательном разряде со скрещенн...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111674 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде / Ю.В. Ковтун, Е.И. Скибенко, А.И. Скибенко, В.Б. Юферов // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 85-91. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111674 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Ковтун, Ю.В. Скибенко, Е.И. Скибенко, А.И. Юферов, В.Б. 2017-01-13T16:32:50Z 2017-01-13T16:32:50Z 2011 Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде / Ю.В. Ковтун, Е.И. Скибенко, А.И. Скибенко, В.Б. Юферов // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 85-91. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111674 533.9; 533.924 На основе экспериментальных данных проведены количественные оценки массового расхода катодного вещества, поступающего в разряд за счет механизма распыления рабочих поверхностей катодов под действием ионных потоков предварительно созданной газовой плазмы в импульсном отражательном разряде со скрещенными E × B-полями. Произведена также оценка массового количества рабочего вещества многокомпонентной плазмы, образуемой в разряде, выносимого поперек удерживающего магнитного поля и конденсируемого на приемных пластинах, находящихся при комнатной температуре. Полученные данные позволяют сделать вывод о направленном выделении тяжелой компоненты плазмы в результате центробежных эффектов. На основі експериментальних даних проведено кількісні оцінки масових витрат катодної речовини, яка поступає в розряд за рахунок розпорошення робочих поверхонь катодів під дією іонних потоків створеної газової плазми в імпульсному відбивному розряді зі схрещеними E × B-полями. Проведена також оцінка масової кількості робочої речовини багатокомпонентної плазми, що створюється в розряді, яка виноситься поперек утримуючого магнітного поля і конденсується на приймальних пластинах, які знаходяться при кімнатній температурі. Одержані дані дозволяють зробити висновок відносно спрямованого виділення важкої компоненти плазми за рахунок відцентрових ефектів. Based on experimental data, qualitative evaluation was made on the mass rate of a cathode material entering into the discharge by the mechanism of work cathode surface sputtering under the action of ion fluxes of pre-formed gas plasma in the pulsed reflex discharge with crossed E × B-fields. The mass quantity of a working material in the discharge-formed multicomponent plasma, coming out across the confining magnetic field and being condensed on the receiving plates at room temperature has been evaluated. The data obtained enable to draw a conclusion about directed separation of a heavy plasma component due to the centrifugal effects. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде Кількісні оцінки масових витрат розпорошеної і розділяємої речовини в імпульсному відбивному розряді Quantitative evaluation of the mass rate of sputtering and separating material in the pulsed reflex discharge Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде |
| spellingShingle |
Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде Ковтун, Ю.В. Скибенко, Е.И. Скибенко, А.И. Юферов, В.Б. Физика и технология конструкционных материалов |
| title_short |
Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде |
| title_full |
Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде |
| title_fullStr |
Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде |
| title_full_unstemmed |
Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде |
| title_sort |
количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде |
| author |
Ковтун, Ю.В. Скибенко, Е.И. Скибенко, А.И. Юферов, В.Б. |
| author_facet |
Ковтун, Ю.В. Скибенко, Е.И. Скибенко, А.И. Юферов, В.Б. |
| topic |
Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
| publishDate |
2011 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Кількісні оцінки масових витрат розпорошеної і розділяємої речовини в імпульсному відбивному розряді Quantitative evaluation of the mass rate of sputtering and separating material in the pulsed reflex discharge |
| description |
На основе экспериментальных данных проведены количественные оценки массового расхода катодного вещества, поступающего в разряд за счет механизма распыления рабочих поверхностей катодов под действием ионных потоков предварительно созданной газовой плазмы в импульсном отражательном разряде со скрещенными E × B-полями. Произведена также оценка массового количества рабочего вещества многокомпонентной плазмы, образуемой в разряде, выносимого поперек удерживающего магнитного поля и конденсируемого на приемных пластинах, находящихся при комнатной температуре. Полученные данные позволяют сделать вывод о направленном выделении тяжелой компоненты плазмы в результате центробежных эффектов.
На основі експериментальних даних проведено кількісні оцінки масових витрат катодної речовини, яка поступає в розряд за рахунок розпорошення робочих поверхонь катодів під дією іонних потоків створеної газової плазми в імпульсному відбивному розряді зі схрещеними E × B-полями. Проведена також оцінка масової кількості робочої речовини багатокомпонентної плазми, що створюється в розряді, яка виноситься поперек утримуючого магнітного поля і конденсується на приймальних пластинах, які знаходяться при кімнатній температурі. Одержані дані дозволяють зробити висновок відносно спрямованого виділення важкої компоненти плазми за рахунок відцентрових ефектів.
Based on experimental data, qualitative evaluation was made on the mass rate of a cathode material entering into the discharge by the mechanism of work cathode surface sputtering under the action of ion fluxes of pre-formed gas plasma in the pulsed reflex discharge with crossed E × B-fields. The mass quantity of a working material in the discharge-formed multicomponent plasma, coming out across the confining magnetic field and being condensed on the receiving plates at room temperature has been evaluated. The data obtained enable to draw a conclusion about directed separation of a heavy plasma component due to the centrifugal effects.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111674 |
| citation_txt |
Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде / Ю.В. Ковтун, Е.И. Скибенко, А.И. Скибенко, В.Б. Юферов // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 85-91. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kovtunûv količestvennyeocenkimassovogorashodaraspylâemogoirazdelâemogoveŝestvavimpulʹsnomotražatelʹnomrazrâde AT skibenkoei količestvennyeocenkimassovogorashodaraspylâemogoirazdelâemogoveŝestvavimpulʹsnomotražatelʹnomrazrâde AT skibenkoai količestvennyeocenkimassovogorashodaraspylâemogoirazdelâemogoveŝestvavimpulʹsnomotražatelʹnomrazrâde AT ûferovvb količestvennyeocenkimassovogorashodaraspylâemogoirazdelâemogoveŝestvavimpulʹsnomotražatelʹnomrazrâde AT kovtunûv kílʹkísníocínkimasovihvitratrozporošenoíírozdílâêmoírečovinivímpulʹsnomuvídbivnomurozrâdí AT skibenkoei kílʹkísníocínkimasovihvitratrozporošenoíírozdílâêmoírečovinivímpulʹsnomuvídbivnomurozrâdí AT skibenkoai kílʹkísníocínkimasovihvitratrozporošenoíírozdílâêmoírečovinivímpulʹsnomuvídbivnomurozrâdí AT ûferovvb kílʹkísníocínkimasovihvitratrozporošenoíírozdílâêmoírečovinivímpulʹsnomuvídbivnomurozrâdí AT kovtunûv quantitativeevaluationofthemassrateofsputteringandseparatingmaterialinthepulsedreflexdischarge AT skibenkoei quantitativeevaluationofthemassrateofsputteringandseparatingmaterialinthepulsedreflexdischarge AT skibenkoai quantitativeevaluationofthemassrateofsputteringandseparatingmaterialinthepulsedreflexdischarge AT ûferovvb quantitativeevaluationofthemassrateofsputteringandseparatingmaterialinthepulsedreflexdischarge |
| first_indexed |
2025-12-07T20:02:47Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:02:47Z |
| _version_ |
1850881099200200704 |