Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
Ti-Al-N films were deposited by vacuum arc method. T-shaped magnetic filter with two channels was used for films preparation. Deposition was performed after aluminum and titanium separate plasma streams from two plasma sources were mixed into single one inside plasma duct having weakened magnetic fi...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111691 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter / D.S. Aksyonov, I.I. Aksenov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 116-120. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862539830255157248 |
|---|---|
| author | Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. |
| author_facet | Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. |
| citation_txt | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter / D.S. Aksyonov, I.I. Aksenov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 116-120. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Ti-Al-N films were deposited by vacuum arc method. T-shaped magnetic filter with two channels was used for films preparation. Deposition was performed after aluminum and titanium separate plasma streams from two plasma sources were mixed into single one inside plasma duct having weakened magnetic field near its output. Obtained films have uniform distribution of composition and thickness on 180 mm diameter substrate surface. It was found that mixing and homogenization degree depends on nitrogen pressure, output magnetic field intensity and output- to-substrate distance. Film self-sputtering and aluminum preferential sputtering were observed for elevated negative substrate bias potentials.
Осадження Ti-Al-N-покриттів проводилось вакуумно-дуговим методом із застосуванням двоканального T-подібного магнітного фільтра. Потоки алюмінієвої та титанової плазми змішувались в один потік, після чого проводилось осадження цього результуючого потоку. Змішування потоків відбувалося всередині вихідної секції плазмоводу в області послабленого магнітного поля. Отримані покриття однорідні за складом та товщиною на підкладці діаметром 180 мм. Встановлено, що ступінь змішування та гомогенізації залежнім від тиску азоту в робочому об’ємі, напруженості магнітного поля поблизу вихідної секції плазмоводу та відстані між підкладкою та виходом плазмоводу. При підвищеному негативному потенціалі підкладки спостерігалося саморозпилення покриття та переважне розпилення алюмінію із покриття.
Осаждение Ti-Al-N-покрытий производилось вакуумно-дуговым методом с использованием двухканального T-образного магнитного фильтра. Потоки алюминиевой и титановой плазмы смешивались в один поток. Смешивание потоков производилось внутри выходной секции плазмовода в области ослабленного магнитного поля. Покрытия, полученные осаждением смешанного плазменного потока, однородны по составу и толщине на подложке диаметром 180 мм. Установлено, что степень смешивания и гомогенизации зависит от давления азота в рабочем объёме, напряжённости магнитного поля вблизи выходной секции плазмовода и расстояния между подложкой и выходным сечением плазмовода. При повышенном отрицательном потенциале подложки наблюдались самораспыление осаждаемого покрытия и преимущественное распыление алюминия из покрытия.
|
| first_indexed | 2025-11-24T15:46:14Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111691 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-24T15:46:14Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. 2017-01-13T17:34:07Z 2017-01-13T17:34:07Z 2011 Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter / D.S. Aksyonov, I.I. Aksenov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 116-120. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111691 621.793 Ti-Al-N films were deposited by vacuum arc method. T-shaped magnetic filter with two channels was used for films preparation. Deposition was performed after aluminum and titanium separate plasma streams from two plasma sources were mixed into single one inside plasma duct having weakened magnetic field near its output. Obtained films have uniform distribution of composition and thickness on 180 mm diameter substrate surface. It was found that mixing and homogenization degree depends on nitrogen pressure, output magnetic field intensity and output- to-substrate distance. Film self-sputtering and aluminum preferential sputtering were observed for elevated negative substrate bias potentials. Осадження Ti-Al-N-покриттів проводилось вакуумно-дуговим методом із застосуванням двоканального T-подібного магнітного фільтра. Потоки алюмінієвої та титанової плазми змішувались в один потік, після чого проводилось осадження цього результуючого потоку. Змішування потоків відбувалося всередині вихідної секції плазмоводу в області послабленого магнітного поля. Отримані покриття однорідні за складом та товщиною на підкладці діаметром 180 мм. Встановлено, що ступінь змішування та гомогенізації залежнім від тиску азоту в робочому об’ємі, напруженості магнітного поля поблизу вихідної секції плазмоводу та відстані між підкладкою та виходом плазмоводу. При підвищеному негативному потенціалі підкладки спостерігалося саморозпилення покриття та переважне розпилення алюмінію із покриття. Осаждение Ti-Al-N-покрытий производилось вакуумно-дуговым методом с использованием двухканального T-образного магнитного фильтра. Потоки алюминиевой и титановой плазмы смешивались в один поток. Смешивание потоков производилось внутри выходной секции плазмовода в области ослабленного магнитного поля. Покрытия, полученные осаждением смешанного плазменного потока, однородны по составу и толщине на подложке диаметром 180 мм. Установлено, что степень смешивания и гомогенизации зависит от давления азота в рабочем объёме, напряжённости магнитного поля вблизи выходной секции плазмовода и расстояния между подложкой и выходным сечением плазмовода. При повышенном отрицательном потенциале подложки наблюдались самораспыление осаждаемого покрытия и преимущественное распыление алюминия из покрытия. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter Змішування потоків плазми в двоканальному Т-подібному магнітному фільтрі Смешение потоков плазмы в двухканальном T-образном магнитном фильтре Article published earlier |
| spellingShingle | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter |
| title_alt | Змішування потоків плазми в двоканальному Т-подібному магнітному фільтрі Смешение потоков плазмы в двухканальном T-образном магнитном фильтре |
| title_full | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter |
| title_fullStr | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter |
| title_full_unstemmed | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter |
| title_short | Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter |
| title_sort | plasma streams mixing in two-channel t-shaped magnetic filter |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111691 |
| work_keys_str_mv | AT aksyonovds plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT aksenovii plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT luchaninovaa plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT reshetnyaken plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT strelnitskijve plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT aksyonovds zmíšuvannâpotokívplazmivdvokanalʹnomutpodíbnomumagnítnomufílʹtrí AT aksenovii zmíšuvannâpotokívplazmivdvokanalʹnomutpodíbnomumagnítnomufílʹtrí AT luchaninovaa zmíšuvannâpotokívplazmivdvokanalʹnomutpodíbnomumagnítnomufílʹtrí AT reshetnyaken zmíšuvannâpotokívplazmivdvokanalʹnomutpodíbnomumagnítnomufílʹtrí AT strelnitskijve zmíšuvannâpotokívplazmivdvokanalʹnomutpodíbnomumagnítnomufílʹtrí AT aksyonovds smešeniepotokovplazmyvdvuhkanalʹnomtobraznommagnitnomfilʹtre AT aksenovii smešeniepotokovplazmyvdvuhkanalʹnomtobraznommagnitnomfilʹtre AT luchaninovaa smešeniepotokovplazmyvdvuhkanalʹnomtobraznommagnitnomfilʹtre AT reshetnyaken smešeniepotokovplazmyvdvuhkanalʹnomtobraznommagnitnomfilʹtre AT strelnitskijve smešeniepotokovplazmyvdvuhkanalʹnomtobraznommagnitnomfilʹtre |