Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии

Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии

AlN-покрытие получено методом вакуумно-дугового осаждения на кремниевой подложке. С использованием растровой ионно-электронной микроскопии показано, что покрытие нитрида алюминия имеет волокнистую структуру. Методом сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) показано, что AlN имеет поликристаллическую п...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2011
Автори:	Суджанская, И.В., Колесников, Д.А., Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Гриценко, В.И., Гончаров, И.Ю., Турбин, П.В., Торяник, И.Н.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Теми:	Физика и технология конструкционных материалов
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111695
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии / И.В. Суджанская, Д.А. Колесников, В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, В.И. Гриценко, И.Ю. Гончаров, П.В. Турбин, И.Н. Торяник // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 145-148. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Многоэлементные покрытия (Zr-Ti-Al-Nb-Y)N, полученные вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
за авторством: Турбин, П.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Микрокристаллическое покрытие Fe-Ti-C, сформированное вакуумно-дуговым методом осаждения
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2013)

Вакуумно-плазменные покрытия на основе многоэлементных нитридов
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Исследование фрикционных свойств композиционных покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2003)

Многокомпонентные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия для режущего инструмента
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Вакуумно-дуговые многослойные покрытия
за авторством: Береснев, В.М.
Опубліковано: (2005)

Адгезионная прочность нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым методом
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние потенциала смещения и давления азота на структурно-напряженное состояние и свойства нитридных покрытий, полученных испарением высокоэнтропийных сплавов вакуумно-дуговым методом
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2014)

Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние термоциклической обработки на микропластичность бериллия, полученного из сферического измельченного порошка
за авторством: Иванцов, В.И.
Опубліковано: (2003)

Динамика информационных потоков по вакуумно-дуговым нитридным покрытиям, полученным испарением высокоэнтропийных сплавов
за авторством: Сердюк, И.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Исследование влияния неоднородностей на параметры электронного переноса и термостабильности в высокоомном кремнии n-типа
за авторством: Кожитов, Л.В., та інші
Опубліковано: (2003)

Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2005)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)

Свойства алмазного поликристаллического композиционного материала, полученного в системе алмаз–графен–кремний
за авторством: Шульженко, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)

Светофильтрующие покрытия на основе окислов железа, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Лапшин, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Образование капель на стенках кратера при вакуумно-дуговом разряде на медном катоде
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2008)

Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2016)

Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Разработка способа упрочнения износостойкого карбидотитанового покрытия, полученного на стали методом электрофореза, и обеспечение адгезионной связи покрытия с основой
за авторством: Баглюк, Г.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Слоистые вакуумно-дуговые покрытия Ti-NbN-Al₂O₃, Nb-NbN-Al₂O₃ на инструментах, оснащенных поликристаллическими сверхтвердыми материалами на основе кубического нитрида бора
за авторством: Клименко, С.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
за авторством: Гриценко, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Формирование сверхтвердого состояния вакуумно-дугового высокоэнтропийного покрытия TiZrHfNbTaYN
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2018)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Солнечный кремний
за авторством: Шаповалов, В.А.
Опубліковано: (2014)

Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N
за авторством: Грудницкий, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)