Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке

Установлена корреляция между проявлением эффектов модификации и продолжительностью ионно-плазменной очистки поверхности подложек ионами титана. Эксперименты проводились на серийной вакуумно-дуговой установке «Булат-6» в стационарном режиме в нефильтрованной плазме титана, которая содержала в осаждае...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2011
Hauptverfasser: Шулаев, В.М., Таран, В.С., Тимошенко, А.И., Гасилин, В.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111700
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке / В.М. Шулаев, В.С. Таран, А.И. Тимошенко, В.В. Гасилин // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 184-192. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine